http://ir-heating-case.com/ko/tags/%EB%A1%9C/ Recent content in 로 on Infrared Heating Applications Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 02:47:33 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/semiconductor-diffusion-furnace-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:47:33 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/semiconductor-diffusion-furnace-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="반도체 확산로 램프"></p> <p>Fab 현장에서 퍼니스는 블랙박스가 아니다. 그것은 엄격히 제어되는 열 경계다. 램프 어레이가 성능 저하를 보이면 웨이퍼 전체의 온도 분포가 변한다. 포토레지스트 프로파일이 이동하고, 산화막 두께 편차가 커진다. 수율은 조용히, 그러나 수치로 하락한다.<br> 우리가 디퓨전 퍼니스 램프를 만드는 이유는 하나다. 공정이 필요한 곳에 안정적이고 반복 가능한 열을 제공하면서 오염 위험을 추가하지 않는 것이다. 램프는 전기 에너지와 웨이퍼의 열 예산 사이 인터페이스 역할을 한다. 정밀하고, 청결하며, 신뢰할 수 있어야 하며 교대마다 변함없이 유지되어야 한다.</p>