http://ir-heating-case.com/ko/tags/%EA%B8%80%EB%A1%9C%EB%B8%8C%EB%B0%95%EC%8A%A4/ Recent content in 글로브박스 on Infrared Heating Applications Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 15:34:58 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/glovebox-infrared-heater-element/ Fri, 03 Jul 2026 15:34:58 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/glovebox-infrared-heater-element/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="글로브박스 적외선 히터 소자"></p> <p>웨이퍼 건조나 포토레지스트 가열 과정에서 발생하는 열 변동은 단순히 생산 속도에 영향을 미치는 것뿐만 아니라, 웨이퍼의 중요한 치수들도 변하게 만들고 수율도 저하시킵니다. 글로브박스 내부에서는 밀폐된 환경과 제한된 열 조건 때문에, 기존의 히터들은 입자가 발생하지 않도록 하면서도 균일한 온도를 유지하기 위해 애를 씁니다. 우리는 바로 이러한 상황을 고려하여 인프라레드 히터를 설계했습니다.</p>