http://ir-heating-case.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0/ Recent content in 건조 on Infrared Heating Applications Hugo ko Mon, 20 Jul 2026 11:46:38 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 20 Jul 2026 11:46:38 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>더 이상 웨이퍼의 건조 시간을 추측하지 마세요: 왜 적외선이 최선의 방법인가요?<br> MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 수분과의 전쟁을 치르는 셈입니다. 조금만 실수해도 표면 장력으로 인해 그 미세한 구조들이 서로 붙어버릴 수 있습니다. 이를 ‘스틱션’이라고 하며, 높은 생산성을 유지하려는 사람들에게는 큰 문제가 됩니다.</p> http://ir-heating-case.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Mon, 13 Jul 2026 17:53:16 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="공장 건조 공정의 에너지 감사"></p> <p>공장 내에서의 오염 문제로 걱정할 필요는 없습니다.<br> 클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 오류가 있을 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 먼지 조각이나 저품질의 가열 요소에서 나오는 가스만으로도 실리콘 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황이죠.<br> 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용하고 있습니다.</p> http://ir-heating-case.com/ko/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="CMP 후 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>팹 현장에서, 슬러리에서 나온 포스트CMP 웨이퍼에는 여전히 패턴 부분에 미세한 물방울들이 남아 있습니다. 이런 상태의 웨이퍼는 사실상 언제든지 문제가 발생할 수 있는 상태입니다. 물자국, 재침적 현상, 패턴 붕괴와 같은 문제들은 리소그래피나 에칭 공정을 거칠 때쯤에야 나타나곤 합니다. 따라서 건조 히터는 단순히 ‘유용한 장치’가 아니라, 웨이퍼가 CMP 공정을 떠나기 전 마지막으로 중요한 역할을 하는 장치입니다.</p> http://ir-heating-case.com/ko/posts/oled-manufacturing-drying-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:57:26 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/oled-manufacturing-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="OLED 제조용 건조 램프"></p> <p>OLED 리소그래피에서는 열 변동에 대한 여지가 전혀 없습니다. 단 0.5°C만큼의 오차가 생겨도 CD의 균일성이 손상되고, 에칭 과정에서 문제가 발생할 수 있습니다. 따라서 일정한 온도를 유지할 수 있는 건조 램프가 필요합니다.</p> http://ir-heating-case.com/ko/posts/rapid-wafer-drying-infrared/ Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/rapid-wafer-drying-infrared/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="고속 웨이퍼 건조 적외선"></p> <p>라인에서 시간은 제안 사항이 아니라 경계선이다. 스핀 코팅 후, 웨이퍼는 얇은 포토레지스트 필름을 가진 상태로 노출 전에 컨디셔닝 및 건조가 필요하다. 소프트 베이크가 엄격하지 않으면 레지스트 프로파일이 변동한다. 노출 후 하드 베이크가 균일하지 않으면 식각 허용 오차가 무너진다. 최종 건조 단계에서 수분 자국이 남거나 입자가 발생하면 다음 날 수율 보고서에서 그 대가를 확인하게 된다.<br> 우리는 이러한 변수를 열 공정에서 제거하기 위해 고속 웨이퍼 건조 적외선 시스템을 개발했다. 이는 단순한 가열이 아니라, 생산 주기와 클린룸 예산 내에서 반복 가능한 웨이퍼 단위의 열 제어에 관한 것이다.</p>