http://ir-heating-case.com/ja/tags/ir/ Recent content in IR on Infrared Heating Applications Hugo ja Tue, 21 Jul 2026 04:13:55 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ Tue, 21 Jul 2026 04:13:55 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="赤外線エミッタ用セラミックエンドキャップ"></p> <p>クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、加熱処理が大きな課題となります。問題は温度そのものではなく、目に見えない微粒子です。<br> 一般的なIRランプは、この点で問題があります。これらのランプからは、端の部分から微細な金属片が放出されます。もしそうした金属片がウェーハや<a href="https://o-yate.com">光学</a>コーティングの上に落ちてしまったら、多額の費用が無駄になってしまいます。<br> 私たちは、<a href="https://goldisgood.com">高純度</a>の石英管と特殊なセラミック製のエンドキャップを組み合わせることで、この問題を解決しました。以下がその仕組みです。</p> http://ir-heating-case.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 21 Jul 2026 04:06:46 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <h1 id="シャードの発生を防ぐirランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法">シャードの発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法</h1> <p>大量生産の半導体工場において、ランプが破損するというのは単なる「稼働停止」という問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。<br> 石英管が破損すると、ガラスの破片やハロゲンガスが至る所に飛び散ります。一度破損すれば、作成されたウェーハ全体が廃棄物になってしまいます。私たちは、このような事態を防ぐために、ランプの構造や材料に焦点を当てて、何年もかけて研究を重ねてきました。</p> http://ir-heating-case.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="300mmウエハー用の均一な加熱IR"></p> <p>300mmウェハを扱う際には、焼成プロファイルが不安定になるのを感じることができます。線幅が不安定になり、現像後には汚れが見られるようになります。ホットゾーンが設定値と戦っていると、フォトレジストの使用量が増え、結果として<a href="https://o-yate.com">歩留</a>まりが低下します。私たちは、そのような状況を未然に防ぐために、赤外線システムを開発しました。</p>