http://ir-heating-case.com/ja/tags/%E9%A1%95%E5%BE%AE%E9%8F%A1/ Recent content in 顕微鏡 on Infrared Heating Applications Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 04:08:22 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:08:22 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="AFM 原子間力顕微鏡 ヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、AFMヒーターの0.1℃のドリフトは単なる測定上の問題ではありません。フォトレジストのソフトベークやハードベークに影響を及ぼし、全体の熱予算のバランスを崩します。熱の均一性が乱れれば、線幅制御や欠陥密度にも影響が及びます。当社のAFMヒーターは、物理的要求に応じてサンプル上、スキャンエリア全体、かつClass 1–100クリーンルーム内で温度を維持するよう設計しました。</p>