http://ir-heating-case.com/ja/tags/%E9%85%8D%E5%88%97/ Recent content in 配列 on Infrared Heating Applications Hugo ja Tue, 09 Jun 2026 03:55:07 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/modular-infrared-heating-array/ Tue, 09 Jun 2026 03:55:07 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="モジュラー赤外線加熱アレイ"></p> <p>ファブフロアでは、フォトレジストのベークは選択肢ではなく<a href="https://goldisgood.com">熱的</a>な約束事である。ウェーハ上で1.5℃のドリフトがあるだけで、クリティカルな線幅が不良率の増加につながる。これを踏まえ、モジュラー赤外線加熱アレイを設計し、プロセスが要求する再現性のあるかつ計測可能な制御を実現している。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong><br> このアレイはモジュール構成の近赤外線エミッターを採用しており、加熱ゾーンを全ウェーハまたはダイ単位のプロセスウィンドウに合わせて調整できる。アクティブエリア内の温度均一性は±0.1℃で保持されており、負荷変化があっても設定温度の<a href="https://o-yate.com">安定性</a>は維持される。クリーンルーム対応は標準で、クラス1～100の運用が可能で粒子発生はゼロ、かつ低アウトガスのポリマープロセッシングにも適した表面仕様となっている。ソフトベークからハードベークまでの温度プロファイルは厳密な熱バジェット制御で運用され、ロット全体でのクリティカル寸法の整合性を保つ。</p>