http://ir-heating-case.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Infrared Heating Applications Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 06:08:51 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Sun, 28 Jun 2026 06:08:51 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="深紫外線 DUV レジスト焼成ランプ"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストの焼成処理は「一時停止」ではありません。それは、偽ることのできない重要な制御ポイントです。ソフトバーンまたはハードバーンの際に1℃の偏差が生じると、重要な寸法が目標値から外れ、線端の粗さが悪化します。私たちは、プロセスが要求する温度を維持するために、深紫外線用のレジスト焼成ランプを設計しました。つまり、装置が自然に到達する温度ではなく、プロセスに必要な温度を維持するのです。</p>