http://ir-heating-case.com/ja/tags/%E7%82%89/ Recent content in 炉 on Infrared Heating Applications Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 02:47:33 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/semiconductor-diffusion-furnace-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:47:33 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/semiconductor-diffusion-furnace-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="半導体拡散炉ランプ"></p> <p>ファブフロアでは、炉はブラックボックスではない。<a href="https://henruite.com">厳密</a>に管理された熱境界である。ランプアレイの性能が低下し始めると、ウェハ上の温度分布がずれ、フォトレジストのプロファイルが変わり、酸化膜の厚さのばらつきが広がる。歩留まりは静かに、しかし確実に低下する。</p> <p>拡散炉用ランプを作る理由は一つだけだ。プロセスが必要とする場所に安定的かつ再現性のある熱を供給し、汚染リスクを増加させないこと。ランプは電気エネルギーとウェハの熱予算とのインターフェースである。精度が高く、清浄で、信頼性があり、シフトごとに安定していなければならない。</p>