http://ir-heating-case.com/ja/tags/%E5%88%B6%E6%9C%8D/ Recent content in 制服 on Infrared Heating Applications Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="300mmウエハー用の均一な加熱IR"></p> <p>300mmウェハを扱う際には、焼成プロファイルが不安定になるのを感じることができます。線幅が不安定になり、現像後には汚れが見られるようになります。ホットゾーンが設定値と戦っていると、フォトレジストの使用量が増え、結果として<a href="https://o-yate.com">歩留</a>まりが低下します。私たちは、そのような状況を未然に防ぐために、赤外線システムを開発しました。</p>