http://ir-heating-case.com/ja/tags/%E3%82%B7%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%A0/ Recent content in システム on Infrared Heating Applications Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 05:30:24 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Fri, 26 Jun 2026 05:30:24 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="RTPシステム用ハロゲンランプ"></p> <p>ファブの現場では、よく知られているように、フォトレジストを加熱する際に0.5℃のばらつきがあっただけで、重要な寸法がナノメートル単位で変動し、その結果、生産されたウェーハが全滅してしまうこともあります。RTPというのは単なる加熱処理ではなく、クリーンルームの環境を損なわずに、再現性の高いウェーハレベルでの温度制御が求められます。</p>