http://ir-heating-case.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%BC%E3%83%8F/ Recent content in ウェーハ on Infrared Heating Applications Hugo ja Tue, 28 Jul 2026 05:15:58 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/managing-thermal-radiation-in-wafer-heating-to-prevent-equipment-overheating/ Tue, 28 Jul 2026 05:15:58 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/managing-thermal-radiation-in-wafer-heating-to-prevent-equipment-overheating/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハ加熱時の安全距離"></p> <h1 id="装置を加熱するのはやめましょうウェーハを加熱するためのより良い方法">装置を加熱するのはやめましょう：ウェーハを加熱するためのより良い方法</h1> <p>半導体製造における課題としては、ウェーハを十分に加熱する必要がある一方で、装置自体が溶けてしまっては困ります。<br> 一般的なヒーターは、エネルギーをあちこちに放出します。これでは効率が悪く、余分な熱が装置の内部に蓄積され、その結果、操作員が火傷したり、装置のフレームが変形したりしてしまいます。これは実験室としては良い方法とは言えません。</p> http://ir-heating-case.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-secondary-containment-and-reflector-design-in-curing-lamps/ Fri, 24 Jul 2026 11:55:14 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-secondary-containment-and-reflector-design-in-curing-lamps/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ硬化ランプ用反射板"></p> <h1 id="ランプの破裂という悪夢を防ぐには">ランプの破裂という悪夢を防ぐには</h1> <p>高負荷でウェーハを加熱処理しているとき、ランプが破裂するというのは単なる「メンテナンス上の問題」ではありません。それは大惨事です。 一瞬前までは何も問題なかったのに、次の瞬間には、クォーツの破片やハロゲンの沈着物がウェーハの表面に散らばってしまいます。これにより、多くの製品が廃棄され、関係者全員にとって大きな悩みの種となります。だからこそ、私たちは反射板を単なる赤外線を反射する道具としてではなく、最前線の防御手段として扱うのです。</p> http://ir-heating-case.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 21 Jul 2026 04:06:46 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <h1 id="シャードの発生を防ぐirランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法">シャードの発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法</h1> <p>大量生産の半導体工場において、ランプが破損するというのは単なる「稼働停止」という問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。<br> 石英管が破損すると、ガラスの破片やハロゲンガスが至る所に飛び散ります。一度破損すれば、作成されたウェーハ全体が廃棄物になってしまいます。私たちは、このような事態を防ぐために、ランプの構造や材料に焦点を当てて、何年もかけて研究を重ねてきました。</p> http://ir-heating-case.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 20 Jul 2026 11:46:38 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>ウェーハの乾燥時間を推測するのはやめましょう。IRが最適な解決策です。<br> MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるとき、湿気という危険な要素と格闘していることになります。少しでも間違えると、表面張力によって微細な<a href="https://goldisgood.com">構造</a>がくっついてしまいます。これを「スティクション」と呼び、高い歩留まりを維持しようとする人々にとっては大きな問題です。</p> http://ir-heating-case.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 17 Jul 2026 07:42:53 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <h1 id="清潔を保つためにウェハー加熱の現実">清潔を保つために：ウェハー加熱の現実</h1> <p>半導体業界においては、わずかな汚れがあっても大惨事となります。クラス100のクリーンルームで作業を行う場合、加熱素子から出るわずかな破片でも、ウェハー全体が台無しになってしまいます。そのため、私たちは<a href="https://henruite.com">材料</a>には細心の注意を払い、IRランプとしては高純度の合成石英を使用しています。</p> http://ir-heating-case.com/ja/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="CMP後ウェーハ乾燥ヒーター"></p> <p>ファブの現場では、スラリーから出てきたポストCMPウェーハには、依然としてパターン部分に微細な液滴が残っています。このようなウェーハは、基本的には歩留まりを向上させるチャンスがあるものです。水跡や再堆積、パターンの崩れといった問題は、リソグラフィーやエッチングの工程で初めて現れます。したがって、乾燥ヒーターは単なる「便利な装置」ではなく、ウェーハがCMPセルを出る前の最後の熱処理手段なのです。</p> http://ir-heating-case.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="300mmウエハー用の均一な加熱IR"></p> <p>300mmウェハを扱う際には、焼成プロファイルが不安定になるのを感じることができます。線幅が不安定になり、現像後には汚れが見られるようになります。ホットゾーンが設定値と戦っていると、フォトレジストの使用量が増え、結果として<a href="https://o-yate.com">歩留</a>まりが低下します。私たちは、そのような状況を未然に防ぐために、赤外線システムを開発しました。</p>