IR on Infrared Heating Applications

Estremità in ceramica per emettitore IR

Tue, 21 Jul 2026 04:13:57 +0800

Mantenere una sala pulita di classe 100 effettivamente pulita

Quando si gestisce una sala pulita di classe 100, il riscaldamento rappresenta davvero un problema. Non si tratta soltanto della temperatura: si tratta anche degli elementi invisibili presenti nell’ambiente.
Le lampade a infrarossi standard sono particolarmente problematiche in questo senso: emettono piccoli frammenti metallici dalle loro estremità. Se uno di questi frammenti finisce su una wafer o su uno strato ottico, si è sprecato molto denaro.
Per risolvere questo problema, abbiamo utilizzato tubi di quarzo ad alta purezza, abbinati a capsule ceramiche specializzate. Ecco come funziona esattamente.

Sensore IR a precisione per wafer

Tue, 21 Jul 2026 04:06:46 +0800

Fermate i frammenti di vetro: mantenete le wafer pulite quando le lampade a infrarossi non funzionano più
In una fabbrica di semiconduttori ad alta produttività, la rottura di una lampada non è semplicemente un problema legato alla perdita di produttività: è un vero incubo. Quando il tubo di quarzo si rompe, i frammenti di vetro e il gas allogenico si diffondono ovunque. Con un solo guasto, l’intera serie di wafer diventa inutilizzabile. Abbiamo dedicato molto tempo a trovare soluzioni per evitare che ciò accada, concentrandoci sulla struttura delle lampade e sui materiali utilizzati per costruirle.

Calore uniforme per wafer da 300 mm IR

Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800

Nella linea da 300 mm, si può percepire quando il profilo di essiccazione inizia a deviare dal valore desiderato. I margini delle linee diventano irregolari, e dopo lo sviluppo si osserva la presenza di impurità sulla superficie del wafer. Quando la zona calda non riesce a mantenere la temperatura desiderata, si spreca la quantità di fotoresist utilizzata, con conseguente riduzione della resa produttiva. Abbiamo progettato il nostro sistema a infrarossi proprio per evitare che ciò accada.