http://ir-heating-case.com/id/tags/panggang/ Recent content in Panggang on Infrared Heating Applications Hugo id Sun, 28 Jun 2026 06:08:52 +0800 http://ir-heating-case.com/id/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Sun, 28 Jun 2026 06:08:52 +0800 http://ir-heating-case.com/id/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Lampu untuk proses pemanasan bahan resist jenis Deep UV (DUV)"></p> <p>Di lantai produksi, proses pemanasan fotoresist bukanlah “titik penghentian” dalam proses produksi. Sebaliknya, itu merupakan titik kontrol yang tidak boleh diabaikan. Perubahan suhu sebesar 1°C selama proses pemanasan akan menyebabkan ketidakstabilan dimensi kritis dari bahan fotoresist, serta menimbulkan ketidakteraturan pada tepi garis-garis yang terbentuk. Kami merancang lampu pemanas DUV agar suhu tetap stabil sesuai kebutuhan proses produksi—bukan sesuai kondisi lingkungan di sekitar alat tersebut.</p> <p>Yang penting saat wafer diproses adalah tingkat repetibilitasnya. Lampu ini memastikan suhu di permukaan wafer tetap konstan, dalam rentang ±0,1°C. Hal ini berdampak positif pada efisiensi proses pelarutan bahan kimia dan perilaku ikatan antar molekul dalam fotoresist.</p>