Oven on Infrared Heating Applications

Pemanas inframerah untuk oven di ruang bersih

Wed, 15 Jul 2026 10:10:24 +0800

Melindungi Pemanas di Ruang Bersih (dan Mempertahankan Ketenangan Pikiran Anda)

Saat mengelola ruang bersih, hal terakhir yang Anda inginkan adalah adanya pemanas yang menyebabkan munculnya partikel-partikel berbahaya, atau bahkan memicu arus listrik yang tidak terkendali. Itu merupakan situasi yang sangat buruk. Itulah sebabnya, saat membuat lampu IR, kami meluangkan banyak waktu untuk memperhatikan kondisi lapisan kuarsa dan sambungan elektroda, bukan hanya tingkat panasnya saja.

Mengapa kami menguji setiap lampu secara individu

Kami tidak melakukan pengujian sampel saja. Kami tidak sekadar mengambil lima lampu dari seratus lampu yang ada, lalu berharap semuanya berfungsi dengan baik. Setiap lampu harus menjalani tes tegangan tinggi dan tes resistansi isolasi sebelum boleh digunakan.

Lampu oven laboratorium semikonduktor

Wed, 17 Jun 2026 16:20:28 +0800

Pada proses pembakaran di dalam oven, perubahan suhu oven tidak ditunjukkan melalui lampu peringatan. Perubahan tersebut akan terlihat dalam bentuk perubahan dimensi kritis setelah proses pembakaran selesai, atau berupa penyimpangan pada profil fotoresist. Hal ini membutuhkan waktu berminggu-minggu untuk diperbaiki. Dalam proses pengeringan wafer, baik yang menggunakan metode “soft bake” maupun “hard bake”, tingkat panas yang digunakan sudah ditentukan secara pasti.

Kami merancang oven laboratorium semikonduktor kami menggunakan sinar inframerah pendek, karena energinya dapat langsung masuk ke dalam fotoresist dan substrat wafer, bukan ke dinding oven. Hal ini memungkinkan pengendalian suhu yang lebih baik, serta hasil pemrosesan yang konsisten dari batch ke batch.