Hentikan pemborosan energi panas di dalam chamber vakum Anda! Inilah kenyataan saat bekerja di lingkungan vakum: proses konveksi tidak terjadi lagi. Yang tersisa hanyalah radiasi. Jika Anda tidak berhati-hati, sebagian besar energi yang mahal tersebut akan hilang begitu saja ke dinding-dinding chamber. Saat memproses wafer, setiap watt energi yang terbuang merupakan cacat desain yang serius.
Itulah mengapa kami menggunakan reflektor berlapis emas. Mungkin terdengar mewah, tapi sebenarnya cara ini cukup sederhana. Kita ingin agar energi inframerah jatuh tepat pada wafer, bukan diserap oleh dinding baja.
Mengapa emas? Kebanyakan orang menggunakan aluminium atau baja tahan karat yang sudah dipolis. Bahan-bahan ini memang tampak mengkilap, tetapi dalam spektrum inframerah, bahan-bahan ini seperti spons—mereka menyerap terlalu banyak energi. Kami menggantinya dengan lapisan emas berkualitas tinggi. Emas sangat efektif dalam memantulkan gelombang inframerah kembali ke tempat semula. Dengan demikian, waktu yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan menjadi lebih singkat, dan beban termalnya pun tetap rendah.
Memanfaatkan setiap watt energi secara efisien Menjaga suhu yang stabil pada wafer berukuran 300 mm merupakan tantangan yang sulit. Dengan menggunakan emas untuk mengurangi kehilangan energi akibat radiasi, Anda dapat menurunkan daya lampu yang digunakan. Suhu permukaan wafer tetap sama, tetapi densitas energinya berkurang. Suplai daya pun akan lebih ringan beban kerjanya.
Kekurangannya… Efisiensi ini tentu memiliki kelemahan. Sistem ini memfokuskan panas secara intensif. Jika posisi lampu sedikit saja salah, maka akan terjadi gradien suhu yang ekstrem. Anda perlu memastikan bahwa kontroler PID dan termokopel berfungsi dengan baik. Selain itu, pastikan sistem pendinginan Anda mampu menangani panas yang dipantulkan oleh emas tersebut. Jika tidak, komponen-komponen tersebut akan rusak.
Kami merancang sistem ini agar bisa digunakan langsung dalam jalur vakum yang sudah ada. Tujuannya adalah agar panas sampai tepat ke tempat yang dibutuhkan, yaitu pada substrat. Tidak ada pemborosan energi, dan bagian-bagian yang tidak perlu dipanaskan juga tidak akan terlalu panas. Hanya panas yang efisien saja yang digunakan.