Di fasilitas produksi, perubahan suhu sekecil setengah derajat saja sudah bisa mempengaruhi dimensi-dimensi kritis komponen elektronik dan berdampak pada tingkat keberhasilan proses pembuatan komponen tersebut. Pemanas konvensional tidak mampu mengatasi masalah keterlambatan transfer panas dan penurunan suhu di pinggiran permukaan wafer, sehingga hal ini berdampak negatif pada kualitas produk. Kami telah menciptakan alat pengering inframerah yang kompak untuk proses pengolahan IC, agar variabilitas suhu dapat dikendalikan dengan baik.
Pemanasan inframerah: keseragaman dan keandalan yang tinggi
Alat ini menggunakan emiter inframerah dekat (NIR) yang disetel sedemikian rupa sehingga energi panas dapat meresap lebih cepat ke dalam wafer, sehingga suhu tetap stabil dalam rentang ±0,1°C selama proses pemanasan berlangsung. Dengan demikian, keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer sangat tinggi.
Mengapa alat ini efektif?
Dalam proses litografi, alat ini mampu mengendalikan proses pemanasan dengan baik, baik untuk proses pemanasan lembut maupun keras. Hal ini memungkinkan pengurangan waktu proses produksi, sekaligus menjaga kualitas lapisan fotorezyst. Dalam proses pembersihan dan pengeringan, alat ini mampu menghilangkan kelembapan tanpa menyebabkan overheating pada lapisan low-k.
Keunggulan lainnya
Alat ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dan tidak menghasilkan partikel sama sekali, sesuai hasil pemantauan yang dilakukan secara langsung. Penggunaan energi juga berkurang, karena energi dipancarkan hanya pada objek yang ingin dipanaskan, bukan pada seluruh ruangan. Alat ini dirancang untuk beroperasi 24/7, dengan umur pakai emiter yang mencapai 5.000 jam dan output yang stabil.
Catatan penting saat penggunaan
Untuk penginstalan alat ini, diperlukan sumber daya listrik 24 VDC, rangkaian listrik kelas 2, serta meja kerja yang bersih dan bebas getaran agar alat dapat berfungsi dengan tepat. Alat ini dioptimalkan untuk wafer berukuran 150 mm dan 200 mm; untuk wafer berukuran 300 mm, diperlukan alat khusus dan prosedur kalibrasi tersendiri. Lakukan uji coba singkat terlebih dahulu untuk menentukan parameter yang sesuai untuk jenis film yang digunakan.