http://ir-heating-case.com/hi/tags/cmp/ Recent content in CMP on Infrared Heating Applications Hugo hi Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/hi/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/hi/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="सीएमपी के बाद वेफर को सुखाने हेतु हीटर"></p> <p>फैब फ्लोर पर, स्लरी से निकलने वाला “पोस्ट-CMP वेफर” अभी भी अपनी सतह पर माइक्रो-ड्रॉपलेट्स लिए हुए होता है। ऐसे वेफरों को तुरंत ही सुखाना आवश्यक है। पानी के निशान, पुनः निक्षेपण, एवं पैटर्नों में बदलाव जैसी समस्याएँ तब ही सामने आती हैं, जब वेफर को लिथोग्राफी/एटचिंग प्रक्रिया में डाला जाता है। ड्रायिंग हीटर केवल एक “अतिरिक्त उपकरण” नहीं है; बल्कि यह वह अंतिम उपकरण है जिसके द्वारा ही वेफर CMP सेल से बाहर जाता है।</p>