सूखना on Infrared Heating Applications

ओएलईडी निर्माण हेतु सूखने हेतु प्रयोग में आने वाला लैंप

Tue, 23 Jun 2026 00:57:26 +0800

ओएलईडी लिथोग्राफी में, थर्मल ड्रिफ्ट के कारण कोई गुंजाइश ही नहीं है। यदि तापमान में ±0.5°C तक का अंतर आ जाए, तो सीडी यूनिफॉर्मिटी प्रभावित हो जाती है; साथ ही रेजिस्ट सतहों पर भी समस्याएँ आ जाती हैं। इसलिए ऐसी ड्रायिंग लैंप की आवश्यकता है, जो स्थिर रहे, न कि ऐसी लैंप जो दिन-रात में अपनी स्थिति बदलती रहे।

हमने क्या बनाया, और क्यों?
हमने ओएलईडी ड्रायिंग लैंप को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हेलोजन एमिटरों के साथ क्वार्ट्ज आवरण में रखा। इससे फोटोरेसिस्ट में तेज़ एवं सीधी ऊर्जा हस्तांतरण होता है, एवं सब्सट्रेट का तापमान न्यूनतम रहता है। हीटर ऐसे ही व्यवस्थित किए गए हैं कि वेफर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे, एवं प्रत्येक चक्र में तापमान की स्थिरता 0.05°C ही रहे।

तेज़ वेफर सुखाने वाला इन्फ्रारेड

Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800

लाइन पर, घड़ी सुझाव नहीं है—यह सीमा है। स्पिन-कोट के बाद, वेफर एक पतली फोटोरेसिस्ट फिल्म के साथ बैठा होता है जिसे एक्सपोजर से पहले कंडीशनिंग और ड्राई करना होता है। यदि सॉफ्ट बेक सटीक नहीं है, तो रेसिस्ट प्रोफाइल विचलित हो जाता है। एक्सपोजर के बाद हार्ड बेक असमान होने पर, आपका एच टॉलरेंस टूट जाता है। और यदि अंतिम ड्राई स्टेप पर पानी के निशान या कण उठते हैं, तो अगली सुबह यील्ड रिपोर्ट में उसका असर दिखेगा।
हमने अपने रैपिड वेफर ड्राइंग इनफ्रारेड सिस्टम को इस तरह बनाया है कि ये वेरिएबल्स थर्मल स्टेप्स से बाहर निकल जाएं। यह सिर्फ हीटिंग की बात नहीं है—यह उत्पादन तालमेल और क्लीनरूम बजट के भीतर एक दोहराने योग्य, वेफर-स्तरीय थर्मल नियंत्रण के बारे में है।