फैब फ्लोर पर, 24/7 अपटाइम कोई लक्ष्य नहीं है। यह प्रवेश का मूल मूल्य है। फोटोरेजिस्ट सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान एक बार भी तापमान में विचलन हो...

फैब फ्लोर पर, फर्नेस कोई ब्लैक बॉक्स नहीं है। यह एक सख्त नियंत्रित थर्मल सीमा है। यदि लैंप एरे प्रदर्शन में गिरावट आती है, तो वेफर पर तापमान मानचित्र...