ड्रेयर – वह यं on Infrared Heating Applications

डिजिटल इन्फ्रारेड ड्रायर कंट्रोलर

Mon, 27 Jul 2026 09:07:28 +0800

फैक्ट्री में तापमान पर नियंत्रण रखना
सेमीकंडक्टर बनाने हेतु तापमान का सही नियंत्रण आवश्यक है। यदि तापमान में थोड़ा भी अंतर हो जाए, तो समस्याएँ पैदा हो जाती हैं। इसीलिए हम पुरानी, अक्षम हीटिंग प्रणालियों का उपयोग छोड़कर डिजिटल IR ड्रायर कंट्रोलरों का उपयोग कर रहे हैं।

डिजिटल IR प्रणालियाँ क्यों कारगर हैं?
पुरानी हीटर प्रणालियाँ अपना आधा समय केवल वातावरण को गर्म करने में ही खर्च करती हैं… यह तो बर्बादी ही है। लेकिन IR विकिरण अलग है… यह ऊर्जा को सीधे वेफर/सब्सट्रेट में ही भेजता है।
हम डिजिटल कंट्रोलरों का उपयोग करके ऊर्जा का नियंत्रण करते हैं… इससे तापमान नियंत्रण में रहता है।
यह बहुत ही तेज़ है… हम कुछ ही सेकंडों में ही लक्ष्य तक पहुँच जाते हैं… न कि मिनटों में। जब फैक्ट्री 24/7 चल रही होती है, तो बची हुई ऊर्जा बहुत ही महत्वपूर्ण हो जाती है। हम PID लूपों का उपयोग करके तापमान को $\pm 1^\circ\text{C}$ के भीतर ही रखते हैं… इससे ऊर्जा खर्च में कमी आती है।

आईसी के लिए कॉम्पैक्ट इन्फ्रारेड ड्रायर

Thu, 25 Jun 2026 05:07:21 +0800

फैब फ्लोर पर, थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन आपके उत्पादों के महत्वपूर्ण मापदंडों को प्रभावित कर सकता है, जिससे उत्पादन दर में कमी आ सकती है। पारंपरिक हीटिंग सिस्टम ऐसी समस्याओं से निपटने में असमर्थ हैं; इसलिए ऐसी अनिश्चितताएँ उत्पादन प्रक्रिया में दिखाई देती हैं। हमने IC प्रसंस्करण हेतु एक कॉम्पैक्ट इन्फ्रारेड ड्रायर विकसित किया है, ताकि ऐसी अनिश्चितताओं को दूर किया जा सके।

इन्फ्रारेड हीटिंग: सब-मिलीमीटर स्तर पर समानता एवं पुनरावृत्ति
यह उपकरण नियर-इन्फ्रारेड (NIR) एमिटरों पर आधारित है; इन एमिटरों को फोटोरेजिस्ट के अवशोषण के अनुरूप सेट किया गया है। इससे ऊर्जा तेजी से अंदर जाती है, एवं तापमान नियंत्रित रहता है। वेफर पर सब-मिलीमीटर स्तर पर समानता बनी रहती है, एवं बेकिंग के दौरान तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है।
हम वेफर पर ही बंद-लूप पायरोमेट्री का उपयोग करते हैं; इसके अलावा, परावर्तक कैविटी के कारण अतिरिक्त ऊष्मा बाहर नहीं जाती। इससे उत्पादन प्रक्रिया में पुनरावृत्ति सटीक रहती है।

बैटरी सेपरेटर फिल्म ड्रायर फैब

Mon, 01 Jun 2026 20:41:08 +0800

फैब फ्लोर पर, थर्मल ड्रिफ्ट किसी चेतावनी लेबल के साथ प्रकट नहीं होता। इसे आप लाइन यील्ड में गिरावट, मॉनीटर पर पार्टिकल स्पाइक, या फोटोरेसिस्ट प्रोफाइल में शिफ्ट दर शिफ्ट भटकाव के रूप में देखते हैं। वेफर ड्राइंग, फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक, तथा पैकेजिंग क्योरिंग में, तापमान केवल एक नॉब नहीं है—यह वह प्रक्रिया है जिसके लिए आप जिम्मेदार हैं।
जो महत्वपूर्ण है
हम ड्रायर और बेक मॉड्यूल सख्त थर्मल नियंत्रण के इर्द-गिर्द बनाते हैं: ±0.1°C की एकरूपता हॉट जोन में, जो वेफर प्लेन पर मापी जाती है, हीटर ब्लॉक पर नहीं। NIR और मीडियम-वेव IR सीधे फिल्म और रेसिस्ट में ऊर्जा डंप करते हैं, जिससे ओवरशूट के बिना तेज़ चक्र संभव होते हैं। कार्बन-फाइबर हीटर्स कॉन्टैक्ट बेक को स्थिर और पुनरावृत्त बनाए रखते हैं। पूरा सेटअप क्लीनरूम-समर्थित है, क्लास 1 से क्लास 100 तक, जिसमें प्रक्रिया इंटरफेस पर शून्य पार्टिकल जनरेशन होती है और एग्जॉस्ट रूटिंग संदूषकों को बाहर रखती है। पुनरावृत्ति इंजीनियर्ड है—सेटपॉइंट्स सहिष्णुता के भीतर घंटे दर घंटे, बैच दर बैच स्थिर रहते हैं।
उत्पादन में स्थिरता का कारण
लिथोग्राफी लाइनों पर, एक ही यूनिट सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक दोनों को संगत प्रोफाइल के साथ संभालती है, जिससे CD और मोटाई में भिन्नता आपको परेशान नहीं करती। क्लीनिंग और ड्राइंग में, यह वेफरों को थर्मल शॉक के बिना सूखा और स्पॉट-फ्री स्थिति में ले आता है। पैकेजिंग में, यह निर्धारित समय पर एनकैप्सुलेंट्स और अंडरफिल्स को क्योर करता है, जिससे ठंडे जोड़ों की समस्या नहीं होती। इसका परिणाम पूर्वानुमानित चक्र समय, कम स्क्रैप बैच, और स्थिर थर्मल बजट होता है। ऊर्जा की खपत कम होती है क्योंकि हीटर्स जल्दी सेटपॉइंट तक पहुँचते हैं और बिना ऑन-ऑफ साइकिलिंग के इसे बनाए रखते हैं।
जो योजना बनानी चाहिए
यह प्लेटफॉर्म मौजूदा ट्रैकों और ओवन में फिट हो जाता है, लेकिन इसका फुटप्रिंट और एग्जॉस्ट रूटिंग फैब की सीमाओं के अनुरूप होना चाहिए। एकरूपता बनाए रखने के लिए समर्पित वोल्टेज और ग्राउंडिंग बजट करें, और अपनी फिल्म स्टैक के लिए प्रोफाइल ट्यून करने हेतु एक संक्षिप्त कमीशनिंग विंडो की उम्मीद रखें। एक बार सेट हो जाने पर, सिस्टम 24/7 चलता है और केवल नियमित रखरखाव की आवश्यकता होती है।