http://ir-heating-case.com/he/tags/cmp/ Recent content in CMP on Infrared Heating Applications Hugo he Thu, 02 Jul 2026 09:27:37 +0800 http://ir-heating-case.com/he/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:27:37 +0800 http://ir-heating-case.com/he/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="חיממן לייבוש שבבים לאחר תהליך CMP"></p> <p>בחדר הייצור, שבב שעבר תהליך CMP עדיין מכיל טיפות מיקרוסקופיות על השטחים המעוצבים שלו. בעצם, מדובר בשבב שמוכן לעבודה, אך עדיין יש בו בעיות שצריך לפתור. סימני מים, התגבשות חומרים וקריסה של הדפוסים על השבב נוטים להופיע בשלבים מאוחרים יותר – דווקא בשלבי הליתוגרפיה והחריטה. מזגן הייבוש אינו רק “דבר נוח”, אלא המכשול התרמי האחרון לפני שהשבב יוצא מתא ה-CMP.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> יצרנו את מזגן הייבוש על בסיס גוף פליטה של קוורץ-הלוגן בגלים קצרים. הוא מספק אנרגיה במהירות ובאופן ישיר, והפליטה נשארת יציבה. האחידות התרמית על פני השבב נשמרת ברמה של ±0.1°C, כך שהאחידות התרמית לא תשתנה בין השבבים השונים.</p>