http://ir-heating-case.com/he/tags/afm/ Recent content in AFM on Infrared Heating Applications Hugo he Sun, 07 Jun 2026 04:08:23 +0800 http://ir-heating-case.com/he/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:08:23 +0800 http://ir-heating-case.com/he/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="מחמם מיקרוסקופ כוח אטומי (AFM)"></p> <p>בקו הייצור, סטייה של 0.1°C במחמם ה-AFM אינה רק נזק למדידה. היא עלולה להשפיע על אפיית רך וקשה של הפוטורזיסט, ולפגוע באיזון התקציב התרמי הכולל. כאשר אחידות טמפרטורה מתערערת, בקרת רוחב הקו וצפיפות הפגמים נפגעות בהתאם. בנינו את מחמם ה-AFM הזה כדי לשמור על הטמפרטורה בדיוק היכן שהפיזיקה דורשת – ישירות על הדגימה, לאורך אזור הסריקה, ובתוך חדרי נקיון Class 1–100.</p> <p><strong>מה שחשוב מבחינה טכנית</strong><br> המחמם משלב אלמנט אינפרא-אדום בגל קצר עם מסלול תרמי מייצב קוורץ. זה מספק חימום מקומי ויציב עם אחידות של ±0.1°C בדיוק על פני השכבה. העיצוב אינו משחרר חלקיקים במהלך ההגבהה וההתייצבות של הטמפרטורה, כך שמספר החלקיקים נשאר יציב במהלך העבודה הסמוכה לליתוגרפיה.<br> גודל הטביעת הרגל מותאם לאינטגרציה עם AFM, מתכוונים לאמינות 24/7, ומבטיחים נקודות סט הפעלה שחוזרות על עצמן ושורדות אלפי מחזורי חימום מבלי לסטות. אספקת הכוח מותאמת למעטפת הכלי, והממשק מתוכנן להחלפה מהירה – ללא הפרעות בתהליך.</p>