על רצפת המפעל, סטייה תרמית לא מתגלת עם תווית אזהרה. רואים אותה בירידת תפוקה בקו, בקפיצה בכמות חלקיקים על המסך, או בפרופיל פוטורזיסט שמתחיל לסטות משמרת למשמרת. בתהליך ייבוש וויפרים, אפיית פוטורזיסט רכה וקשה, וריפוי אריזה, הטמפרטורה אינה רק מתג – היא התהליך שעליו אתם אחראים.
מה שחשוב מתחת למכסה המנוע
אנחנו מפתחים מייבשים ומודולי אפייה סביב בקרה תרמית מדויקת: אחידות של ±0.1°C באזור החם, הנמדדת במישור הוויפר, לא בבלוק החימום. NIR ו-IR גל אמצעי מפורקים אנרגיה ישירות אל הסרט והרסיסט, כך שמתקבלים מחזורים מהירים יותר ללא חריגה. גוף חימום מסיבי סיבי פחמן שומר על יציבות ואחידות באפיית מגע. כל המערכת מתאימה לתנאי חדר נקי מדרגה 1 עד 100, ללא יצירת חלקיקים בממשק התהליך ועם נתיבי פינוי שמונעים כניסת מזהמים. ניתן לשחזר את התנאים – נקודות ההגדרה נשמרות בטולרנס שעה אחרי שעה, אצווה אחרי אצווה.
מדוע המערכת שומרת על ביצועים בייצור
בקווי ליתוגרפיה, אותו יחידה מטפלת הן באפיית רכה והן באפיית קשה עם פרופילים עקביים, כך שהשונות בקוטר הקריטי ובעובי לא מתגברת. בתהליכי ניקוי וייבוש, היא מביאה את הוויפרים למצב יבש וללא כתמים ללא הלם תרמי. באריזה, היא מרפאה חומרי מילוי והחדרות תחתונות על פי לוח זמנים, ללא יצירת חיבורים קרים. התוצאה היא זמני מחזור צפויים, פחות אצוות פסולות, ותקציבי חום יציבים. צריכת האנרגיה יורדת כי הגוף מגיע לנקודת ההגדרה במהירות ושומר עליה ללא הפעלה וכיבוי מחזוריים.
מה יש לתכנן מראש
הפלטפורמה משתלבת במסילות ותנורים קיימים, אך יש להתאים את גודל הרגליים ונתיבי הפינוי למגבלות המפעל. יש להקצות מתח וארקה ייעודיים לשמירת אחידות היכן שנדרש, ולצפות לחלון תיאום קצר לכיוון פרופילים עבור ערימת הסרט שלכם. לאחר ההגדרה, המערכת פועלת 24/7 עם תחזוקה שגרתית בלבד.