http://ir-heating-case.com/fa/tags/rtp/ Recent content in RTP on Infrared Heating Applications Hugo fa Fri, 26 Jun 2026 05:30:24 +0800 http://ir-heating-case.com/fa/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Fri, 26 Jun 2026 05:30:24 +0800 http://ir-heating-case.com/fa/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="لامپ هالوژن برای سیستم RTP"></p> <p>در کارخانه‌های تولید، می‌دانید که چه اتفاقاتی می‌افتد: تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتی‌گراد در طول فرآیند پختن فوتورزیست، می‌تواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود و در نتیجه کل محموله محصولات از بین برود. فرآیند RTP صرفاً مربوط به حرارت نیست؛ بلکه شامل کنترل دقیق دما در سطح ویفرهاست، بدون اینکه این کنترل مانع کارکرد اتاق‌های تمیز شود.</p> <p><strong>آنچه اهمیت دارد:</strong><br> ما این لامپ‌های هالوژنی را با استفاده از نور مادون قرمز کوتاه‌امواج و پوشش کوارتزی ساخته‌ایم؛ بنابراین واکنش سریعی دارند و تأخیر حرارتی ناچیزی وجود دارد. در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حاصل می‌شود؛ این میزان دقیقاً همان چیزی است که برای کنترل دقیق دمای فرآیند لازم است. این لامپ‌ها سازگار با اتاق‌های تمیز در کلاس‌های ۱ تا ۱۰۰ هستند؛ مواد و ساختار آن‌ها به گونه‌ای انتخاب شده‌اند که تعداد ذرات موجود در آن‌ها کاهش یابد. خروجی لامپ در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی می‌ماند؛ کاهش خروجی نور کمتر از ۵٪ است؛ بنابراین می‌توانید فرآیندهای طولانی را بدون نیاز به تنظیم مجدد هر هفته انجام دهید.</p>