در فرآیندهای لیتوگرافی OLED، روش لیتوگرافی OLED هیچ فضایی برای اختلالات ناشی از گرما ایجاد نمیکند. حتی کمترین تغییر دما در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد نیز میتواند باعث تغییراتی در یکنواختی سطح فوتورزیست و همچنین ایجاد مشکلاتی در فرآیند حکاکی شود. بنابراین، نیاز به لامپ خشککنی وجود دارد که دمای آن ثابت بماند؛ نه چیزی که با تغییرات دمای محیط تغییر کند.
آنچه ما ساختیم، و چرا
ما لامپ خشککنی OLED را درون یک پوشش کوارتزی قرار دادیم؛ این کار باعث انتقال سریع انرژی به فوتورزیست میشود، در حالی که گرمایش سطح زیرین ناچیز است. الگوی گرمایشی لامپ به گونهای است که دما در سراسر ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز در محدوده ۰.۰۵ درجه سانتیگراد است.
این سیستم برای اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، ما تأیید کردهایم که این سیستم هیچ ذرهای تولید نمیکند. کنترل این سیستم به صورت حلقه بسته انجام میشود؛ یعنی از پیرومترهای دقیق و روشهای جبران تغییرات انتشار گرما برای اندازهگیری دمای سطح فوتورزیست استفاده میشود، نه دمای بدنه لامپ.
چرا این سیستم در کارخانههای تولید OLED مؤثر است
در فرآیندهای خشککردن فوتورزیست و لیتوگرافی OLED، محدودیتهای گرمایی زیادی وجود دارد. اگر دما خیلی پایین باشد، حلالها به خوبی از بین نمیروند؛ اما اگر دما خیلی بالا باشد، گازهای تولید شده باعث ایجاد نقصهایی در سطح فوتورزیست میشوند. این لامپ، دمای خشککردن فوتورزیست را در هر چرخه به طور دقیق کنترل میکند؛ بنابراین، کنترل یکنواختی سطح فوتورزیست و زوایای سمتی آن نیز حفظ میشود.
سرعت بالای این لامپ، مدت زمان خشککردن را کاهش میدهد؛ این امر باعث افزایش بهرهوری بدون افزایش دمای بیش از حد میشود. این سیستم از نظر طراحی نیز کارآمد است؛ چرا که تبدیل انرژی الکتریکی به انرژی تابشی بالا بوده و جرم حرارتی کمی دارد؛ در نتیجه، هزینههای انرژی کمتر شده و گرمای اضافی کمتری وارد اتاق تمیز میشود. این سیستم قابلیت کار ۲۴ ساعته روزانه را دارد؛ دادههای عملیاتی نیز نشان میدهد که این سیستم میتواند هزاران ساعت به طور پایدار کار کند.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید
این لامپ ابعاد کوچکی دارد، اما برای حفظ عملکرد پایدار، نیاز به مسیر تخلیه گازها و منبع تغذیه الکتریکی مناسب دارد. اگر قصد استفاده از این سیستم در سیستمهای قدیمی را دارید، باید با مشکلات مربوط به رابطهای مکانیکی و کنترلی آن مقابله کنید. قبل از استفاده، حتماً اتصالات، پوششهای مربوطه و سیستمهای کنترلی را بررسی کنید.
یک دور کوتاه آزمایشی انجام دهید تا پروفایل خشککردن فوتورزیست را تنظیم کنید؛ سپس آن را ثابت نگه دارید.