http://ir-heating-case.com/de/tags/uniform/ Recent content in Uniform on Infrared Heating Applications Hugo de Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/de/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/de/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Gleichmäßige Wärme für 300 mm Wafer IR"></p> <p>Auf der 300-mm-Linie kann man erkennen, wenn sich das Trocknungsprofil verändert. Die Linienbreiten schwanken, und nach der Entwicklung taucht Schaum auf. Wenn die Heizzone gegen die vorgegebene Temperatur ankämpft, wird der Photoresist verschwendet – was wiederum zu geringeren Erträgen führt. Wir haben unser Infrarot-System so konzipiert, dass dieser Konflikt bereits vor seinem Auftreten vermieden wird.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Der Array aus Kurzwellen-Infrarotstrahlern ist so eingestellt, dass eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der Waferoberfläche gewährleistet wird – mit einer Toleranz von ±0,1 °C über die gesamte 300-mm-Oberfläche wä<a href="https://o-yate.net">hrend</a> des Weichtrocknungsvorgangs, des Harttrocknungsvorgangs sowie der Aushärtung. Die schnelle Reaktionszeit verringert die thermische Verzögerung, sodass die Temperatur genau dem vorgegebenen Wert entspricht. Die Heizzone ist für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet – außerdem entstehen im Betriebszustand keine Teilchen. So erhalten Sie 24/7 Zuverlässigkeit ohne unplanmäßige Ausfälle. Zudem bleibt die Genauigkeit der Maße von Charge zu Charge konstant.</p>