Trockner on Infrared Heating Applications

Digitaler Steuerer für Infrarot Trockner

Mon, 27 Jul 2026 09:07:28 +0800

Die Temperatur im Produktionsraum unter Kontrolle halten
Der Herstellungsprozess von Halbleitern ist ein Wettlauf gegen Zeit – und gegen Temperaturschwankungen. Selbst geringfügige Abweichungen in der Temperatur können zu Problemen führen. Deshalb haben wir auf die alten, unpraktischen Widerstandsheizungen verzichtet und stattdessen digitale IR-Trocknungskontroller eingesetzt.

Es geht dabei vor allem darum, Energieverschwendung zu vermeiden. Reinraumgebäude sind Energiefresser – wir versuchen daher, den Kohlenstoffausstoß zu reduzieren.

Warum digitale IR-Kontroller tatsächlich funktionieren
Stellen Sie sich die alten Heizungen vor: Sie verbringen die Hälfte ihrer Zeit damit, die Luft um sie herum zu erwärmen – das ist eine Verschwendung von Energie. IR-Strahlung hingegen sendet Energie direkt auf die Wafer oder Substrate. Wir nutzen digitale Controller, um die Leistung dynamisch anzupassen. Dadurch wird verhindert, dass die Temperatur zu stark ansteigt.

Kompakter Infrarot Trockner für ICs

Thu, 25 Jun 2026 05:07:21 +0800

In der Fertigungshalle kann schon eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad ausreichen, um die kritischen Dimensionen der Wafer zu beeinträchtigen und die Ausbeute zu senken. herkömmliche Heizmethoden können diese Temperaturschwankungen nicht kompensieren – das führt zu Unregelmäßigkeiten in der Produktion. Wir haben daher einen kompakten Infrarot-Trockner entwickelt, der diese Schwankungen ausgleicht.

Infrarot-Heizen: Sub-Millimeter-Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit
Der Trockner nutzt Near-Infrared-Strahler, die auf die Absorption des Fotoresists abgestimmt sind. Dadurch dringt die Energie schneller ein und bleibt innerhalb bestimmter Grenzen. Dadurch wird eine Sub-Millimeter-Genauigkeit erreicht – die Temperatur bleibt während des Trocknungsprozesses bei ±0,1 °C konstant.

Trockenanlage für Batterie Trennfolienfertigung

Mon, 01 Jun 2026 20:41:08 +0800

Auf dem Fertigungsboden zeigt sich thermische Drift nicht mit einem Warnhinweis. Man erkennt sie an sinkenden Linienerträgen, einem Partikelanstieg auf dem Monitor oder einem Photoresist-Profil, das sich Schicht für Schicht zu verschieben beginnt. Beim Wafer-Trocknen, beim Softbake und Hardbake von Photoresist sowie beim Aushärten im Packaging ist die Temperatur nicht nur ein Einstellknopf – sie ist der Prozess, für den Sie verantwortlich sind.
Was unter der Haube zählt
Wir entwickeln Trockner und Backmodule mit präziser thermischer Steuerung: ±0,1°C Gleichmäßigkeit über die gesamte Hot Zone, gemessen in der Wafer-Ebene und nicht am Heizelement. NIR- und medium-wave IR-Strahler geben die Energie direkt an die Schicht und den Resist ab, was schnellere Zyklen ohne Überschwinger ermöglicht. Kohlefaserheizer sorgen für stabile und reproduzierbare Kontaktbakes. Die gesamte Anlage ist Reinraum-kompatibel von Klasse 1 bis Klasse 100, erzeugt keine Partikel an der Prozessschnittstelle und verfügt über eine Abgasführung, die Verunreinigungen fernhält. Reproduzierbarkeit ist fest eingebaut – Sollwerte bleiben Stunde um Stunde, Charge um Charge innerhalb der Toleranz.
Warum es sich in der Produktion bewährt
Auf Lithographielinien übernimmt dieselbe Einheit sowohl Softbake als auch Hardbake mit konsistenten Profilen, sodass CD- und Dickenabweichungen nicht zu Problemen führen. Beim Reinigen und Trocknen werden Wafer schonend auf einen trockenen, fleckenfreien Zustand gebracht, ohne thermischen Schock. Im Packaging härtet das System Verkapselungen und Underfills termingerecht aus, wodurch kalte Lötstellen vermieden werden. Der Nutzen zeigt sich in vorhersehbaren Zykluszeiten, weniger Ausschusschargen und stabilen thermischen Budgets. Der Energieverbrauch sinkt, da die Heizer den Sollwert schnell erreichen und ohne ständiges Ein- und Ausschalten halten.
Was Sie bei der Planung berücksichtigen müssen
Die Plattform lässt sich in bestehende Tracks und Öfen integrieren, jedoch müssen Fußabdruck und Abgasführung an die Bedingungen der Fertigung angepasst werden. Für eine gleichmäßige Temperaturverteilung sind dedizierte Spannungsversorgung und Erdung einzuplanen. Die Inbetriebnahme erfordert eine kurze Einlernphase zur Anpassung der Profile an Ihren Schichtaufbau. Nach der Einstellung läuft das System rund um die Uhr mit nur routinemäßiger Wartung.