Die Temperatur im Produktionsraum unter Kontrolle halten Der Herstellungsprozess von Halbleitern ist ein Wettlauf gegen Zeit – und gegen...

In der Fertigungshalle kann schon eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad ausreichen, um die kritischen Dimensionen der Wafer zu...

Auf dem Fertigungsboden zeigt sich thermische Drift nicht mit einem Warnhinweis. Man erkennt sie an sinkenden Linienerträgen, einem Partikelanstieg...