Halogenlampe für das RTP System

Fri, 26 Jun 2026 05:30:23 +0800

In der Fertigungshalle ist es so: Eine Abweichung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Fotolacks kann dazu führen, dass kritische Abmessungen um Nanometer verändert werden – was wiederum dazu führt, dass ganze Chargen nutzlos werden. RTP dreht sich nicht nur um Wärme – es geht auch um eine wiederholbare, wafernbezogene Temperaturregulierung, die nicht im Widerspruch zur Sauberkeit der Produktionsumgebung steht.

Was wirklich wichtig ist Wir haben diese Halogenlampen so konstruiert, dass sie kurzwelliges Infrarotlicht nutzen und außerdem über eine Quarzkapsel verfügen. Dadurch ist die Reaktionszeit kurz, und es entsteht kaum thermischer Verzug. So wird eine Homogenität auf Waferniveau von ±0,1 °C erreicht – genau das, was benötigt wird, um die Temperaturen während des Trocknungsprozesses präzise zu kontrollieren. Die Lampen sind für Umgebungen der Klassen 1–100 geeignet; die verwendeten Materialien und die Konstruktion sorgen dafür, dass die Anzahl der Partikel minimiert bleibt. Die Leistung der Lampen bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5 % Leistungseinbruch. Dadurch können lange Produktionsschleifen durchgeführt werden, ohne jede Woche neu kalibrieren zu müssen.

RTP on Infrared Heating Applications

Halogenlampe für das RTP System