Trocknungslampe für die OLED Herstellung

Tue, 23 Jun 2026 00:57:25 +0800

Bei der OLED-Lithografie gibt es keine Möglichkeit, auf thermische Schwankungen Rücksicht zu nehmen. Selbst geringe Temperaturunterschiede von ±0,5 °C führen dazu, dass die CD-Uniformität beeinträchtigt wird – zudem entstehen Probleme mit den Resistprofilen, die das Ätzen erschweren. Man benötigt daher eine Trockenlampe, die eine konstante Temperatur hält – und nicht etwas, dessen Temperatur mit den Bedingungen im Raum schwankt.

Was wir gebaut haben und warum
Wir haben die OLED-Trockenlampe in Halogenemittenten mit Kurzwellen-Infrarotstrahlung untergebracht – diese befinden sich wiederum in einer Quarzkapsel. Dadurch wird Energie schnell und direkt an den Photoresisten übertragen, wobei das Substrat nur minimal erhitzt wird. Die Heizelemente sind so angeordnet, dass die Temperatur innerhalb des Wafers bei ±0,1 °C bleibt – die Wiederholgenauigkeit beträgt dabei 0,05 °C pro Cycle.

OLED on Infrared Heating Applications

Trocknungslampe für die OLED Herstellung