IR on Infrared Heating Applications

Keramische Endkappe für IR Emitter

Tue, 21 Jul 2026 04:13:55 +0800

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, stellt die Beheizung ein echtes Problem dar. Es geht dabei nicht nur um die Temperatur – sondern auch um die unsichtbaren Stoffe, die entstehen können.

Herkömmliche Infrarotlampen sind in dieser Hinsicht besonders problematisch: Sie geben Gase ab oder geben kleine Metallflakes von ihren Endkappen ab. Wenn eines dieser Flakes auf eine Wafer oder eine optische Schicht fällt, ist das Geld, das man dafür ausgegeben hat, einfach verschwendet.

Präziser IR Sensor für Wafern

Tue, 21 Jul 2026 04:06:46 +0800

Verhindern Sie Bruchstellen: Halten Sie Ihre Wafer sauber, wenn die IR-Lampen versagen
In einer Produktionsstätte für Halbleiter ist ein Defekt einer Lampe sicherlich kein einfaches Problem – es handelt sich dabei um einen echten Albtraum. Wenn eine Quarztube zerbricht, spritzen überall Glasscherben sowie Halogengas herum. Dadurch wird die ganze Charge an Wafern unbrauchbar. Wir haben viel Zeit damit verbracht, herauszufinden, wie man das verhindern kann – dabei konzentrierten wir uns auf die Konstruktion der Lampen sowie deren Materialien.

Gleichmäßige Wärme für 300 mm Wafer IR

Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800

Auf der 300-mm-Linie kann man erkennen, wenn sich das Trocknungsprofil verändert. Die Linienbreiten schwanken, und nach der Entwicklung taucht Schaum auf. Wenn die Heizzone gegen die vorgegebene Temperatur ankämpft, wird der Photoresist verschwendet – was wiederum zu geringeren Erträgen führt. Wir haben unser Infrarot-System so konzipiert, dass dieser Konflikt bereits vor seinem Auftreten vermieden wird.

Was technisch wichtig ist: Der Array aus Kurzwellen-Infrarotstrahlern ist so eingestellt, dass eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der Waferoberfläche gewährleistet wird – mit einer Toleranz von ±0,1 °C über die gesamte 300-mm-Oberfläche während des Weichtrocknungsvorgangs, des Harttrocknungsvorgangs sowie der Aushärtung. Die schnelle Reaktionszeit verringert die thermische Verzögerung, sodass die Temperatur genau dem vorgegebenen Wert entspricht. Die Heizzone ist für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet – außerdem entstehen im Betriebszustand keine Teilchen. So erhalten Sie 24/7 Zuverlässigkeit ohne unplanmäßige Ausfälle. Zudem bleibt die Genauigkeit der Maße von Charge zu Charge konstant.