Trockenanlage für Batterie Trennfolienfertigung

Mon, 01 Jun 2026 20:41:08 +0800

Auf dem Fertigungsboden zeigt sich thermische Drift nicht mit einem Warnhinweis. Man erkennt sie an sinkenden Linienerträgen, einem Partikelanstieg auf dem Monitor oder einem Photoresist-Profil, das sich Schicht für Schicht zu verschieben beginnt. Beim Wafer-Trocknen, beim Softbake und Hardbake von Photoresist sowie beim Aushärten im Packaging ist die Temperatur nicht nur ein Einstellknopf – sie ist der Prozess, für den Sie verantwortlich sind.
Was unter der Haube zählt
Wir entwickeln Trockner und Backmodule mit präziser thermischer Steuerung: ±0,1°C Gleichmäßigkeit über die gesamte Hot Zone, gemessen in der Wafer-Ebene und nicht am Heizelement. NIR- und medium-wave IR-Strahler geben die Energie direkt an die Schicht und den Resist ab, was schnellere Zyklen ohne Überschwinger ermöglicht. Kohlefaserheizer sorgen für stabile und reproduzierbare Kontaktbakes. Die gesamte Anlage ist Reinraum-kompatibel von Klasse 1 bis Klasse 100, erzeugt keine Partikel an der Prozessschnittstelle und verfügt über eine Abgasführung, die Verunreinigungen fernhält. Reproduzierbarkeit ist fest eingebaut – Sollwerte bleiben Stunde um Stunde, Charge um Charge innerhalb der Toleranz.
Warum es sich in der Produktion bewährt
Auf Lithographielinien übernimmt dieselbe Einheit sowohl Softbake als auch Hardbake mit konsistenten Profilen, sodass CD- und Dickenabweichungen nicht zu Problemen führen. Beim Reinigen und Trocknen werden Wafer schonend auf einen trockenen, fleckenfreien Zustand gebracht, ohne thermischen Schock. Im Packaging härtet das System Verkapselungen und Underfills termingerecht aus, wodurch kalte Lötstellen vermieden werden. Der Nutzen zeigt sich in vorhersehbaren Zykluszeiten, weniger Ausschusschargen und stabilen thermischen Budgets. Der Energieverbrauch sinkt, da die Heizer den Sollwert schnell erreichen und ohne ständiges Ein- und Ausschalten halten.
Was Sie bei der Planung berücksichtigen müssen
Die Plattform lässt sich in bestehende Tracks und Öfen integrieren, jedoch müssen Fußabdruck und Abgasführung an die Bedingungen der Fertigung angepasst werden. Für eine gleichmäßige Temperaturverteilung sind dedizierte Spannungsversorgung und Erdung einzuplanen. Die Inbetriebnahme erfordert eine kurze Einlernphase zur Anpassung der Profile an Ihren Schichtaufbau. Nach der Einstellung läuft das System rund um die Uhr mit nur routinemäßiger Wartung.

Batterie on Infrared Heating Applications

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