Hören Sie auf, Energie in Ihrer Vakuumkammer zu verschwenden!
So sieht die Realität beim Arbeiten im Vakuum aus: Die Konvektion gibt es nicht mehr. Es bleibt nur noch die Strahlung – und wenn man nicht vorsichtig ist, geht der größte Teil der kostbaren Energie einfach in die Wände der Kammer. Beim Bearbeiten von Wafern bedeutet jeder verschwendete Watt im Grunde einen Designfehler.
Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind. Das klingt zwar ausgefallen, ist aber eigentlich ganz einfach. Wir wollen, dass die Infrarot-Energie auf die Wafer trifft – und nicht in das Stahlmaterial eindringt.
Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit poliertem Aluminium oder Edelstahl. Für uns sehen diese Materialien zwar glänzend aus, doch im Infrarotspektrum fungieren sie wie Schwämme – sie absorbieren einfach zu viel Energie. Wir ersetzen diese Materialien durch eine Schicht aus hochreinem Gold. Gold ist hervorragend darin, Infrarotwellen dorthin zurückzuschicken, wo sie hingehören. Dadurch wird die Wärme effektiv weitergeleitet. Das Ergebnis: Die Aufwärmzeiten werden kürzer, und die Wärmeentwicklung bleibt unter Kontrolle.
Jeder Watt zählt
Es ist schwierig, eine konstante Temperatur auf einer 300-mm-Waferfläche zu halten. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem. Durch die Reduzierung der Strahlungsverluste mit Gold kann man die Leistung der Lampen senken. Man erhält dabei dieselbe Oberflächentemperatur, aber mit geringerer Leistungsintensität. Ihre Stromversorgung wird es Ihnen danken.
Der Haken (denn es gibt immer einen)
Diese Art der Effizienz bringt jedoch auch Risiken mit sich. Diese Systeme konzentrieren die Wärme stark. Wenn die Positionierung der Lampen nur um wenige Millimeter falsch ist, entstehen extreme Temperaturunterschiede. Man darf bei den PID-Reglern oder Thermoelementen keine Kompromisse eingehen – sie müssen schnell genug reagieren können. Prüfen Sie außerdem Ihre Kühlkreisläufe. Wenn diese nicht groß genug sind, um die reflekierte Wärme abzuführen, können die Dichtungen beschädigt werden.
Wir gestalten diese Systeme so, dass sie direkt in Ihre vorhandenen Vakuumleitungen passen. Es geht darum, die Wärme genau dorthin zu bringen, wo sie benötigt wird – nämlich auf das Substrat. Keine Verschwendung. Kein Überhitzen der falschen Teile. Nur saubere, effiziente Wärmeübertragung.