Extreme UV-Heizung: Die ehrliche Ingenieurslösung
Wir entwickeln unsere Heizgeräte für die EUV-Verarbeitung, um mit den bekannten amerikanischen und japanischen Marken mithalten zu können. Der Unterschied? Wir liefern denselben Leistungsniveau – doch ohne dass dies zu hohen Kosten führt.
Wir verzichten dabei keinesfalls auf physikalische Prinzipien. Für die Lithografie und den Auftrag von Resiststoffen ist eine zuverlässige und konstante Wärmeversorgung unerlässlich. Genau das bieten wir Ihnen. Wir stimmen Leistungsstärke, Spannung und Geometrie genau ab, sodass die Lampen stundenlang zuverlässig arbeiten können, ohne Leistungsabfälle.
Leistung, Spannung und Geometrie
Bei der EUV-Heizung ist eine präzise Temperaturregelung nicht nur von Vorteil – sie ist sogar entscheidend. Deshalb nutzen wir hochleistungsstarke, Kurzwell-Halogenelemente, die perfekt an die benötigte Spannung angepasst sind. Die Spannung von 400 V sorgt dafür, dass die Heizung auch bei schwankenden Netzspannungen stabil bleibt. Die Leistung von 2500 W garantiert die nötige Wärmeintensität, damit eine schnelle Erhitzung möglich ist – und anschließend bleibt die Temperatur konstant.
Die aktive Länge von 300 mm ist keine Zufallswahl. Sie entspricht genau den Anforderungen der Standardheizzonen. Dadurch kann das Gerät direkt eingesetzt werden, ohne dass eine Neukonstruktion der gesamten Maschine erforderlich ist.
Was befindet sich im Inneren? Halogen, Quarz und eine zuverlässige Verbindung
Im Inneren verwenden wir Kurzwell-Halogentechnologie, die in einem Hochreinheitsquarzkörper untergebracht ist. Diese Kombination sorgt dafür, dass die Leistung über Zeit konstant bleibt – auch bei extremen Temperaturen. Zudem bleibt das Verhalten des Filaments stabil, was zu wiederholbaren Ergebnissen führt.
Für die Verbindung nutzen wir R7s-Anschlüsse. Sie können hohe Ströme bewältigen, sind fest verbunden und ermöglichen eine schnelle und zuverlässige Installation.
Warum das wichtig ist: Präzise Heizung – ohne hohe Kosten
Diese Heizgeräte wurden speziell für die EUV-Verarbeitung entwickelt. In diesem Bereich sind Temperaturgleichmäßigkeit und Betriebszeiten entscheidend für die Qualität der Ergebnisse. Sie erhalten also eine zuverlässige Leistung – genauso hochwertig wie bei den Spitzenmarken.
Wir halten die Kosten in Schach, indem wir kluge Entscheidungen bezüglich der verwendeten Materialien und der Bauweise treffen – und nicht durch Kompromisse bei den wirklich wichtigen Eigenschaften.
Nur noch eines: Die hohe Leistungsstärke erfordert eine effektive Kühlung sowie eine gute Stromverteilung im System. Wenn Sie jedoch die thermische Last und den Spannungsabfall im Voraus berücksichtigen, erhalten Sie zuverlässige Heizung – ohne Überraschungen.