http://ir-heating-case.com/cs/tags/rychl%C3%BD/ Recent content in Rychlý on Infrared Heating Applications Hugo cs Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800 http://ir-heating-case.com/cs/posts/rapid-wafer-drying-infrared/ Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800 http://ir-heating-case.com/cs/posts/rapid-wafer-drying-infrared/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Rychlé sušení destiček infračerveným zářením"></p> <p>Na lince není hodiny otázkou doporučení – jsou hranicí. Po spin-coatu je wafer pokryt tenkou vrstvou fotorezistu, která musí být <a href="https://o-yate.net">kondicionov</a>ána a vysušena před expozicí. Pokud není Soft Bake přesný, profil rezistu se posune. Nerovnoměrný Hard Bake po expozici znamená kolaps tolerance leptání. A pokud finální sušící krok zanechá stopy vody nebo uvolní částice, cena se projeví v ranní zprávě o výtěžnosti.</p> <p>Vyvinuli jsme náš rychlý infračervený systém sušení waferů, abychom eliminovali proměnné v tepelných krocích. Nejde jen o ohřev – jde o opakovatelnou teplotní kontrolu na úrovni waferu, která zapadá do výrobního rytmu a rozpočtu čistých prostor.</p>