Proč jsme ve svém procesu zasychání pomocí infračerveného záření přestali používat ozón
V továrnách na výrobu polovodičů není „čistota“ jen cílem – je to všechno. Pokud zůstane i sebemenší množství chemických zbytků, máte problém. Proto jsme přešli na infračervené lampy bez ozónu.
Většina tradičních systémů s krátkovlnným infračerveným zářením náhodně vytváří ozón jako vedlejší produkt. To není dobré. Tím, že tento efekt odstraníme, nejenže splňujeme požadavky průmyslových standardů na „zelenost“, ale také chráníme samotné zařízení.
Věda za kulisami (bez nudných detailů)
Zde je vysvětlení toho, co se děje uvnitř lampy. Standardní infračervené lampy vyzařují záření v rozsahu 185 nm až 254 nm. Tato energie působí na kyslík ve vzduchu a rozděluje ho, čímž vzniká ozón.
V čistých prostorách je ozón opravdu noční můrou – ničí křehké kovy a organické polymery. Abychom tomu zabránili, používáme speciální povlaky a dodatky v křemíkových trubicích. Ty fungují jako filtr, který blokuje spektrum VUV záření.
Stále dostanete veškerou tu potřebnou teplotu, ale žádné korozivní plyny.
Přestaňte ohřívat vzduch
Představte si obrovskou konvekční troubu – utrácíte spoustu peněz a energie jen proto, abyste ohřáli velký objem vzduchu. Je to plýtvání.
Infračervené lampy jsou jiné – působí přímo na podklad. Je to rychlejší a efektivnější. Protože neplýtváme energií na ohřev celé místnosti, spotřeba energie na jeden destičku výrazně klesá. Ohříváte pouze danou součástku, ne celou místnost.
Upřímná pravda o tomto přechodu
Nebudu říkat, že se jedná o „kouzelnou hůlku“. Existuje několik věcí, které musíte mít na paměti.
Jelikož filtrujeme určité vlnové délky, aby se eliminoval ozón, spektrální rozložení se trochu mění. Nemůžete prostě jen přepnout vypínač a odejít. Pravděpodobně budete muset upravit rychlost dopravy desek nebo výšku lampy, abyste dosáhli požadovaného profilu zasychání.
A pokud provozujete vysokorychlostní linku? Ujistěte se, že vaši regulátory PID jsou nastaveny na specifickou dobu reakce těchto filtrovaných lamp.
Dobrou zprávou je, že tyto lampy lze použít jako náhradu za původní. Můžete si ponechat svou současnou konfiguraci, ale konečně se nemusíte starat o kontaminaci.