শুকানো on Infrared Heating Applications

এমইএমএস সেন্সর ওয়েফার শুকানোর জন্য হিটার

Mon, 20 Jul 2026 11:46:38 +0800

আপনার ওয়েফারগুলো কতক্ষণে শুকিয়ে যাবে তা অনুমান করা বন্ধ করুন: কেন IRই সঠিক উপায়।
যখন আপনি MEMS সেন্সর ওয়েফারগুলোকে শুকান, তখন আপনি আর্দ্রতার সাথে ঝুঁকিপূর্ণ খেলা খেলছেন। একটি ভুল পদক্ষেপেই সেই ক্ষুদ্র, সূক্ষ্ম কাঠামোগুলো একসাথে চেপে যেতে পারে। আমরা একে “স্টিকশন” বলি; এটা হলো উচ্চ উৎপাদন নিশ্চিত করার জন্য একটি বড় সমস্যা।
যদি আপনি একটি “স্মার্ট ফ্যাব” তৈরি করতে চান, তাহলে পুরানো পদ্ধতিগুলোর উপর নির্ভর করা যাবে না। আপনার দরকার হলো এমন তাপ, যা নিয়ন্ত্রণযোগ্য হোক।

ফ্যাব ড্রাইং এর জন্য শক্তি অডিট

Mon, 13 Jul 2026 17:53:16 +0800

আপনার ফ্যাব ড্রাইং প্রক্রিয়ায় দূষণ নিয়ে চিন্তা করা বন্ধ করুন।
যখন আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম চালান, তখন কোনো ভুলের সুযোগই নেই। সামান্য ধূলিকণা বা সস্তা হিটিং উপকরণ থেকে নির্গত গ্যাসও আপনার সিলিকন ওয়েফারগুলোকে ধ্বংস করে দিতে পারে। এটা একটি ভয়ঙ্কর পরিস্থিতি।
এজন্যই আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ IR ল্যাম্প ব্যবহার করি।

কোয়ার্টজ কেন কার্যকর?
আমরা এমন ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি, যেখান থেকে প্রায় সমস্ত অশুদ্ধি অপসারণ করা হয়েছে। কেন? কারণ যখন তাপমাত্রা অত্যন্ত বেড়ে যায়, তখন সাধারণ উপকরণগুলো ভেঙে যায়; এগুলো ধাতব আয়ন বা VOC গ্যাস নির্গত করে। কিন্তু কোয়ার্টজ তা করে না।
এছাড়াও, দ্রুত তাপমাত্রা পরিবর্তনের চাপ সহ্য করতে পারে কোয়ার্টজ। আপনি তাপমাত্রা বাড়ালেও চিন্তা করতে হবে না—কারণ ল্যাম্পগুলো ভেঙে যাবে না।

CMP এর পর ওয়েফার শুকানোর জন্য হিটার।

Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800

ফ্যাব ফ্লোরে, CMP প্রক্রিয়ার পর যে ওয়েফারগুলো বের হয়, সেগুলোর উপর এখনও অণু-ফোঁটাগুলো থাকে। এই অবস্থায় ওয়েফারগুলো আসলে “ইয়েল্ড হিট” অবস্থায় থাকে; অর্থাৎ, এগুলো থেকে ফলাফল পাওয়া সম্ভব। জলের দাগ, পুনর্স্থাপন, এবং প্যাটার্নের ধ্বংস ইত্যাদি সমস্যাগুলো লিথোগ্রাফি ও ইচিং প্রক্রিয়ার সময়ই দেখা দেয়। ড্রায়িং হিটারটি শুধুমাত্র “আবশ্যিক” নয়; বরং ওয়েফারটি CMP সেল থেকে বের হওয়ার আগের শেষ থার্মাল গেট।

প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা পোস্ট CMP ওয়েফার ড্রায়িং হিটারটিকে কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন শর্ট-ওয়েভ এমিটারের ভিত্তিতে তৈরি করেছি। এটি দ্রুত ও সরাসরি শক্তি সরবরাহ করে; আর এর আউটপুট স্থিতিশীল থাকে। ওয়েফারের সমস্ত অংশে থার্মাল ইউনিফর্মিটি ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। এর ফলে প্রথম ওয়েফার ও শেষ ওয়েফারের মধ্যে থার্মাল ব্যবধান থাকে না।

ওএলইডি উৎপাদনে ব্যবহৃত শুকানোর জন্য ল্যাম্প

Tue, 23 Jun 2026 00:57:27 +0800

লাইনে ব্যবহৃত OLED লিথোগ্রাফিতে থার্মাল ড্রিফটের কোনো সুযোগ নেই। যদি তাপমাত্রা ±0.5°C পর্যন্ত চলে যায়, তাহলে CD-এর ইউনিফর্মিটি নষ্ট হয়ে যায়; আর রেজিস্ট প্রোফাইলগুলোও ঠিকমতো কাজ করে না। এখানে এমন একটি ড্রায়িং ল্যাম্প দরকার, যা স্থির অবস্থায় থাকে; দিনের আলোর সাথে সাথে নড়ে না।

আমরা কী তৈরি করেছি, এবং কেন?
আমরা OLED ড্রায়িং ল্যাম্পটিকে কোয়ার্টজ আবরণের ভিতরে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড হ্যালোজেন এমিটারের সাথে সংযুক্ত করেছি। এর ফলে ফটোরেজিস্টে দ্রুত এবং সরাসরি শক্তি সরবরাহ হয়; আর সাবস্ট্রেটটি খুব কম উত্তপ্ত হয়। হিটার অ্যারেগুলো এমনভাবে সাজানো হয়েছে যাতে ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর প্রতিবার প্রক্রিয়া চালানোর সময় তাপমাত্রা 0.05°C এর মধ্যেই থাকে।

র্যাপিড ওয়েফার শুকনো ইনফ্রারেড

Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800

লাইন অনুযায়ী, সময় কোনো পরামর্শ নয়—এটি সীমানা। স্পিন-কোটের পর, ওয়েফারে একটি পাতলা ফটোরেসিস্ট ফিল্ম থাকে যা এক্সপোজারের আগে অনুকূলিত এবং শুকানো প্রয়োজন। যদি সফট বেক যথাযথ না হয়, তাহলে রেসিস্ট প্রোফাইল বিচ্যুত হয়। এক্সপোজারের পর হার্ড বেক যদি সমান না হয়, তাহলে ইচ টলারেন্স ধ্বংস হয়। এবং যদি চূড়ান্ত শুকনো ধাপে জলচিহ্ন থাকে বা কণিকা উদ্রেক হয়, তাহলে পরের সকালে ইল্ড রিপোর্টে তার প্রভাব দেখা যাবে।

আমরা আমাদের দ্রুত ওয়েফার শুকানোর ইনফ্রারেড সিস্টেম তৈরি করেছি যাতে এই পরিবর্তনশীলগুলোকে থার্মাল ধাপ থেকে সরানো যায়। এটি শুধুমাত্র তাপ দেওয়ার ব্যাপার নয়—এটি একটি পুনরাবৃত্তিযোগ্য, ওয়েফার-লেভেল থার্মাল নিয়ন্ত্রণ যা উৎপাদন তালিকা এবং ক্লিনরুম বাজেটের মধ্যে মানিয়ে যায়।