কেন আমরা আমাদের আইআর কিউরিং প্রক্রিয়ায় ওজোন ব্যবহার বন্ধ করেছি?
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন কেন্দ্রে “পরিচ্ছন্নতা” কেবল একটি লক্ষ্য নয়—এটাই সবকিছু। যদি সামান্যতম রাসায়নিক অবশিষ্টাংশ থেকে যায়, তাহলে সমস্যা দেখা দেয়। এই কারণেই আমরা ওজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করছি।
বেশিরভাগ ঐতিহ্যবাহী শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড সিস্টেমগুলো অবচেতনভাবেই O3 (ওজোন) উৎপন্ন করে। এটা ভালো নয়। ওজোন বন্ধ করার মাধ্যমে আমরা শুধুমাত্র শিল্প মানদণ্ডগুলো পূরণ করছি না; বরং হার্ডওয়্যারগুলোকেও রক্ষা করছি।
বিজ্ঞানটা কী?
সাধারণ ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো ১৮৫ন্যানোমিটার থেকে ২৫৪ন্যানোমিটার ব্যান্ডে রেডিয়েশন নির্গত করে। এই রেডিয়েশনগুলো বায়ুতে থাকা অক্সিজেনকে আলাদা করে দেয়; ফলে ওজোন উৎপন্ন হয়।
ক্লিনরুমে ওজোন হলো একটি বড় সমস্যা। এটা সূক্ষ্ম ধাতব অংশগুলোকে নষ্ট করে দেয়। এটা রোধ করার জন্য আমরা কোয়ার্টজ টিউবগুলোতে বিশেষ কোটিং ও ডোপান্ট ব্যবহার করি। এগুলো ভ্যাকুয়াম আল্ট্রাভায়োলেট রশ্মিগুলোকে আটকে দেয়।
আপনি এখনও প্রয়োজনীয় তাপ পাচ্ছেন; কিন্তু কোনো ক্ষয়কারী গ্যাস নেই।
বাতাস গরম করার দরকার নেই!
কল্পনা করুন, আপনি একটি বিশাল কনভেকশন ওভেন ব্যবহার করছেন। বাতাসকে গরম করার জন্য আপনাকে প্রচুর অর্থ ও বিদ্যুৎ খরচ করতে হয়। এটা অপচয়।
ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো ভিন্ন। এগুলো সরাসরি উপাদানগুলোকে গরম করে। এটা দ্রুত ও কার্যকর। যেহেতু আমরা পুরো ঘরটিকে গরম করার জন্য শক্তি অপচয় করছি না, তাই প্রতি ওয়েফারের জন্য প্রয়োজনীয় শক্তির পরিমাণ অনেক কমে যায়। আপনি শুধুমাত্র উপাদানগুলোকেই গরম করছেন, বাতাসকে নয়।
সুইচ পরিবর্তন সম্পর্কে সত্যটা কী?
আমি বলব না যে এটা কোনো “জাদুর লাঠি”。 কিছু বিষয় মনে রাখা দরকার।
যেহেতু আমরা ওজোন উৎপন্ন হওয়া রোধ করার জন্য নির্দিষ্ট তরঙ্গদৈর্ঘ্যগুলোকে ফিল্টার করছি, তাই স্পেকট্রাল ডিস্ট্রিবিউশনটি কিছুটা পরিবর্তিত হয়। আপনি শুধুমাত্র সুইচ টিপে চলে যেতে পারেন না। আপনাকে সম্ভবত কনভেয়রের গতি বা ল্যাম্পের উচ্চতা সামঞ্জস্য করতে হবে।
আর যদি আপনি হাই-স্পিড লাইন ব্যবহার করেন, তাহলে নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার PID কন্ট্রোলারগুলো এই ফিল্টারড ল্যাম্পগুলোর জন্য উপযুক্তভাবে সেট করা আছে।
ভালো খবর হলো, আমরা এগুলোকে সরাসরি প্রতিস্থাপনের জন্য তৈরি করেছি। আপনি আপনার বর্তমান সেটআপ বজায় রাখতে পারেন; কিন্তু আর দূষণ নিয়ে চিন্তা করতে হবে না।