৩০০ মিমি লাইনে, যখন বেকিং প্রক্রিয়াটি ঠিকমতো চলে না, তখন তা অনুভব করা যায়। লাইনের প্রস্থ পরিবর্তিত হয়ে যায়; ডেভেলপ করার পর অপ্রয়োজনীয় পদার্থগুলো দেখা দেয়। যখন হট জোনটি নির্ধারিত তাপমাত্রার বিরুদ্ধে কাজ করে, তখন ফটোরেজিস্টের ব্যবহার বৃদ্ধি পায়; ফলে উৎপাদন কমে যায়। আমরা আমাদের ইনফ্রারেড সিস্টেমটিকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে এই সমস্যাগুলো শুরু হওয়ার আগেই তা রোধ করা যায়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ? শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটারগুলো ওয়েফারের উপরিভাগে সমান তাপমাত্রা বজায় রাখতে সাহায্য করে; ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারের উপরিভাগে ±০.১°C তাপমাত্রা বজায় থাকে। দ্রুত তাপমাত্রা পরিবর্তনের ফলে তাপীয় বিলম্ব কমে যায়; ফলে তাপমাত্রা নির্ধারিত মান অনুযায়ী থাকে। হট জোনটি ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ পর্যন্ত সব ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহার করা যায়; স্থিতিশীল অবস্থায় এটি কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন করে না। এর ফলে ২৪/৭ নির্ভরযোগ্যতা পাওয়া যায়; আর প্রতিবারই ওয়েফারের আকার ও ঘনত্ব নির্ধারিত মান অনুযায়ী থাকে।
লিথোগ্রাফিতে এর গুরুত্ব: লিথোগ্রাফিতে “সফ্ট বেক” প্রক্রিয়াটি দ্রবণগুলো অপসারণ ও ফিল্মের চাপ নিয়ন্ত্রণের জন্য ব্যবহৃত হয়; “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াটি ছবিটিকে স্থির করে এবং রেজিস্টকে ইটিং/ইমপ্লান্ট করার জন্য প্রস্তুত করে। সমান ইনফ্রারেড তাপের ফলে ওয়েফারের উপরিভাগের তাপীয় অবস্থা স্থিতিশীল থাকে। এর ফলে পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়; আর অপ্রয়োজনীয় কণাগুলোও কমে যায়।
শক্তি ব্যবহার: এই সিস্টেমটি শুধুমাত্র নির্ধারিত অঞ্চলটিকেই উত্তপ্ত করে; ফলে শক্তি ব্যবহার কমে যায়।
ব্যবহারিক দিকসমূহ: হট জোনটি ছোট আকারের; এটিকে ট্র্যাক/কোট/বেক মডিউলের সাথে সংযুক্ত করতে হয়। ওয়েফারটি স্থানান্তর করার সময় পর্যাপ্ত জায়গা থাকা দরকার; আর বায়ুপ্রবাহও লাইনের বর্তমান ব্যবস্থার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়া উচিত।
কমিশনিং প্রক্রিয়া: কমিশনিং প্রক্রিয়াটি খুবই সহজ—আপনি ল্যাম্পের শক্তি, এমিসিভিটি ও PID মানগুলো সামঞ্জস্য করলেই হয়। একবার সেট হয়ে গেলে প্রক্রিয়াটি নিয়মিতভাবে চলতে থাকে। কিন্তু যদি রেজিস্টের রাসায়নিক গঠন পরিবর্তন হয় বা ফিল্মটি আরও পুরু হয়, তাহলে একই সমানতা ও কার্যক্ষমতা বজায় রাখার জন্য পুনরায় সেটিং করতে হবে।