Trên sàn chế tạo, việc bake photoresist không phải là tùy chọn — đó là một cam kết nhiệt. Một biến thiên 1.5°C trên toàn bộ wafer đã đủ làm độ rộng dòng mạch quan trọng bị sai lệch, dẫn đến giảm tỷ lệ thu hồi sản phẩm. Chúng tôi thiết kế Modular Infrared Heating Array để đáp ứng thực tế đó, cung cấp khả năng kiểm soát lặp lại và đo lường được vì đó là yêu cầu của quy trình.
Những điểm kỹ thuật quan trọng
Mảng sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại gần (near-infrared emitters) với bố trí mô-đun, cho phép điều chỉnh vùng nung phù hợp với cửa sổ quy trình — toàn bộ wafer hoặc ở cấp độ die. Độ đồng đều nhiệt độ được duy trì trong khoảng ±0.1°C trên diện tích hoạt động, và độ ổn định điểm đặt nhiệt vẫn chặt chẽ ngay cả khi tải thay đổi. Tính tương thích với phòng sạch được tích hợp sẵn: vận hành ở cấp độ Class 1–100 với không sinh hạt, và bề mặt hỗ trợ xử lý polymer ít phát thải khí. Các profile soft bake và hard bake được thực hiện với kiểm soát nghiêm ngặt ngân sách nhiệt, giữ nguyên vẹn chiều kích quan trọng giữa các lô.
Trong lithography và packaging, nhiệt lượng tái lập là con đường nhanh nhất để đạt được hiệu suất ổn định. Thiết kế mô-đun có thể tích hợp vào các track coat/bake và trạm reflow đang có mà không cần đánh giá lại toàn bộ vùng nóng, giúp rút ngắn thời gian thay đổi. Tiêu thụ năng lượng giảm nhờ NIR làm nóng trực tiếp đối tượng mục tiêu, không làm nóng không khí xung quanh.
Thời gian hoạt động liên tục là chỉ số độ tin cậy thực tế. Thiết bị vận hành 24/7 mà không có thời gian chết ngoài kế hoạch liên quan đến hao mòn vùng nóng, và các bộ phát duy trì công suất trong suốt chiến dịch dài. Điều này đảm bảo profile bake luôn ổn định — từ wafer đầu đến cuối cùng.
Dưới đây là các thông tin thực tiễn. Mảng cần căn chỉnh quang học chính xác và nguồn làm mát sạch, khô để duy trì bao nhiệt. Kích thước footprint nhỏ gọn, nên lên kế hoạch envelope cơ khí sớm; khi stack mô-đun đã được lắp đặt, rất ít không gian cho việc sửa chữa tại hiện trường. Khi giao diện được quản lý đúng, bạn sẽ có nhiệt độ sẵn sàng quy trình với tính lặp lại mà chương trình QC của bạn yêu cầu.