На виробничій лінії навіть незначні зміни температури у розмірі півградуса можуть вплинути на критичні параметри продукції та зменшити її якість. Традиційні нагрівальні пристрої не дозволяють ефективно боротися з тепловими відхиленнями, і ці відхилення проявляються на самій лінії виробництва. Ми створили компактний інфрачервоний сушильник для обробки ІЧ-чипів, який допомагає усунути ці відхилення.
Інфрачервоне нагрівання: однорідність та повторюваність на рівні підміліметра
Цей пристрій використовує випромінювачі ближнього інфрачервоного спектру, налаштовані на частоти, які сприяють поглинанню енергії фотоотповідачами. Це дозволяє енергії швидше проникати в матеріал та підтримувати стабільну температуру. Однорідність температури по всій поверхні пластини досягає рівня підміліметра, а температура залишається в межах ±0,1°C під час процесу сушіння.
Ми використовуємо систему контролю температури безпосередньо на поверхні пластини, а також відбивну камеру, яка запобігає поширенню зайвого тепла. Повторюваність результатів обробки становить кілька міліградусів, тож критичні параметри процесу сушіння залишаються стабільними.
Чому цей пристрій ефективний саме там, де це важливо
У процесі літографії цей пристрій дозволяє ефективно керувати процесом сушіння як при низьких, так і при високих температурах, що дозволяє скоротити час обробки та зберегти якість фотоотповідачів. Під час очищення та сушіння пристрій ефективно видаляє вологу, не перегріваючи при цьому тонкі шари матеріалу.
Цей пристрій може ефективно працювати в чистих кімнатах класу 1–100. Він не створює жодних частинок, що підтверджується контролем на місці. Енергоспоживання знижується, оскільки інфрачервоне випромінювання нагріває саме об’єкт обробки, а не всю кімнату. Пристрій розроблений для цілодобової роботи; термін служби випромінювачів становить понад 5 000 годин, а їх потужність залишається стабільною.
Практичні поради щодо використання
Для правильної установки пристрою потрібна окрема схема живлення 24 Вольти, клас 2, а також чиста, вібраційно ізольована поверхня для забезпечення точного вирівнювання променя. Сушильник оптимізований для пластин діаметром 150 мм та 200 мм; для пластин діаметром 300 мм потрібен спеціальний пристрій кріплення та процедура калібрування.
Необхідно провести коротку перевірку, щоб визначити параметри вашого матеріалу, а потім зафіксувати оптимальні налаштування.