Wafer’lerin kuruma sürelerini tahmin etmeyi bırakın: IR teknolojisi neden en iyi çözüm?
MEMS sensörlerinin wafer’lerini kuruturken, nemle ilgili tehlikeli bir oyun oynuyorsunuz. Yanlış bir hareket yaparsanız, yüzey gerilimi bu minicik ve hassas mikro yapıları bir araya getirebilir. Buna “yapışma” diyoruz ve bu durum, yüksek verimlilik elde etmeye çalışan herkes için bir kabustur.
Eğer akıllı bir üretim tesisleri kuruyorsanız, eski yöntemlere güvenemezsiniz. Kontrol edilebilir bir ısı kaynağına ihtiyacınız var.
Isının programlanabilir hale getirilmesi
Geleneksel konveksiyon fırınlarının sorunu şudur: Yavaştırlar. Isınmaları çok uzun sürer, soğumaları ise daha da uzun sürer. Bu tür fırınlardan temiz veriler elde etmek, kırık dümenli bir gemiyi yönetmeye çalışmak gibidir.
İşte bu yüzden infrared (IR) teknolojisine geçtik.
IR aslında ısının açılıp kapatılmasını sağlayan bir mekanizmadır. Anlık olarak işlev görür. Gücü çok hassas bir şekilde ayarlayabildiğiniz için, ısıtma işlemi kodunuzdaki başka bir değişken haline gelir. Çıktıyı doğrudan PLC’nize bağlayabilirsiniz; böylece her wafer aynı şekilde işlenir. Bu yöntem öngörülebilir ve tekrarlanabilir. Ayrıca diğer dijital sistemlerle de uyumludur.
Kısa dalga IR’in gücü
MEMS cihazları için kısa dalga IR kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü bu teknoloji gereksiz işlemleri ortadan kaldırır. Yüzeye temas ettikten sonra nemi saniyeler içinde yok eder. Wafer ısındığını fark ettiğinde ise su zaten gitmiştir; bu da ışınların bir araya gelmesine izin vermez.
Ancak dikkat: Yüksek güç yoğunluğu ekipmanın boyutlarını küçük tutmak için iyidir, ancak çok fazla atık ısı üretir. Eğer yüksek güçlü bir sistem kullanıyorsanız, şasi soğutmasına dikkat etmelisiniz. Aksi takdirde kontrol elektronikleri zarar görebilir ve bu da istenmeyen bir durumdur.
Neden bu yöntem eski yöntemlerden daha iyidir?
Çoğu insan hava ısıtarak parçanın ısınmasını bekler. Bu zaman kaybıdır. IR teknolojisi aracıyı atlayarak wafer’i doğrudan ısıtır.
Daha hızlıdır. Ayrıca temiz odanın sauna haline gelmesini engeller. Üstelik IR sensörleriyle kapalı döngülü bir geri bildirim sistemi eklediğinizde artık tahminde bulunmak zorunda kalmazsınız. Gerçek yüzey sıcaklığını gerçek zamanlı olarak görebilir ve gücü anında ayarlayabilirsiniz.
Artık sadece bir işlem yürütüyor değilsiniz; sürecin fiziksel yönlerini de kontrol edebiliyorsunuz.