Üretim sürecinde, waferlerin kurutulması veya fotoresistlerin ısıtılması sırasında meydana gelen termal değişiklikler, yalnızca üretim hızını etkilemekle kalmaz; aynı zamanda waferlerin boyutlarını da değiştirir ve verimliliği düşürür. Glovebox içinde, sıkı bir atmosfer ve sınırlı termal koşullar altında, geleneksel ısıtıcılar parçacık üretmeden eşitlik sağlamaya çalışır. Biz de tam bu durum için kızılötesi ısıtıcılar tasarladık.
Önemli olan şeyler Kuvars kaplamalı kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz; böylece ısı hızlı ve yönlendirilmiş şekilde iletilir ve emisyon değerleri sabit kalır. Böylece işlem süresi boyunca waferlerdeki sıcaklık ±0,1°C aralığında sabit kalır ve sistem, yüksek üretim hızlarına ayak uydurabilecek kadar hızlıdır. Çıktı tekrarlanabilir olduğundan, yumuşak ve sert ısıtma işlemleri her seferinde tutarlı kalır. Bu ısıtıcılar, düşük gaz salınımı olan ve normal çalışma sırasında parçacık üretmeyen Class 1–100 temiz odalarında kullanılır.
Neden pratikte işe yarar? Waferlerin kurutulmasında kızılötesi enerji, çözücülerin hızlı ve eşit şekilde uzaklaştırılmasını sağlar; bu da yüzey kusurlarını azaltır. Litografide ise fotoresistlerin ısıtılması sayesinde daha hassas kontrol mümkün olur ve yeniden işlemler gereksiz hale gelir. Paketleme aşamasında ise beklenilebilir termal profiller sayesinde yapışkanlık ve güvenilirlik korunur. Enerji tüketimi de azalır; çünkü ısıtıcılar ihtiyaç duyulduğunda ısı sağlar – düşük termal kütle ve en az miktarda boşa harcanan enerji. Güvenilirlik ise uzun çalışma sürelerinde kendini gösterir; bizim ünitelerimiz 24/7 çalışır ve stabil bir çıktı sağlar.
Uygulama notları Montaj, glovebox arayüzü, güç yoğunluğu ve termal mesafelerle ilgilidir. İşıtıcıyı yansıtıcıların geometrisine uygun hale getirin ve kontrol cihazının geri bildirim döngüsünü doğru ayarlayın; aksi takdirde sıcak noktalar ve aşırı ısınmalar meydana gelir. Cihazın özelliklerine uygun voltaj, boyutlar ve konektör tipi seçilmelidir. Hizalama ve kalibrasyon doğru yapılırsa sistem düzgün çalışır. Aksi takdirde termal eşitlik ve tekrarlanabilirlik kaybolur.