Isı kaybını durdurun: Altın yansıtıcıların neden önemli olduğu
Bir wafer’i ısıttığınızda, daha fazla güç kullanmanın daha iyi sonuçlar vereceğini düşünmek kolaydır. Ancak asıl mesele şu: Enerji hiç wafer’e ulaşmıyorsa, lambaya ne kadar güç verildiği önemli değildir.
Çoğu yansıtıcı, enerjinin sızmasına izin verir. Bu sızıntıları engellemek için altın kaplamalı yansıtıcılar kullanıyoruz.
Enerjiyi doğru yere yönlendirme
Bir ısıtma elemanının nasıl çalıştığını düşünün. Enerjiyi her yöne, yani 360 dereceye yayar. İyi bir yansıtıcı olmadan, gücünüzün yarısı sadece cihazın iç kısmını ısıtmak için harcanır. Bu da hem para hem de zaman kaybı demektir.
Altın, kızılötesi ışığı yansıtma konusunda mükemmeldir. Odayı altınla kaplayarak bu boşa giden fotonları yakalayıp tekrar wafer üzerine yansıtabiliriz. Böylece çok daha az güçle hedeflenen sıcaklıklara ulaşabilirsiniz. Bu da daha verimli bir çözümdür.
Gerçek dünyada kullanım
Bu altın kaplamaları kısa dalga boylu kızılötesi kaynaklarla bir araya getiriyoruz. Kısa dalga boylu enerji, yüzeyin üzerinde kalmak yerine içine nüfuz eder. Yüksek yoğunluklu halojen kaynakları ile altın yansıtıcıları bir araya getirdiğimizde, yoğun ve odaklanmış bir ısı alanı oluşur. Bu sayede tüm ısıtma sistemi daha küçük olur ve böylece yer tasarrufu sağlanır.
Ancak asıl avantaj, tutarlılıkta yatıyor. Tüm wafer üzerinde sabit bir sıcaklık elde edilir. 2 derecelik bir fark bile tüm üretimi bozabildiği için bu stabilite çok önemlidir. Bu, mükemmel bir üretim süreci ile berbat bir üretim süreci arasındaki farktır.
Eksileri (çünkü her zaman bir eksik vardır)
Altın harika olsa da yıkılmaz değildir. Hassastır. Eğer işlemde aşındırıcı gazlar kullanılıyorsa veya etrafta çok fazla toz ve parça varsa, altın tabakası zarar görebilir. Yüzey kirlendiğinde yansıtma özelliği azalır. Döngü sürelerinizin değiştiğini fark edersiniz; işte o zaman temizlik yapmanın zamanı gelmiştir. Bakım işlemlerine dikkat etmek gerekiyor.
Bir diğer ipucu: Hassas bir PID kontrol cihazı kullanın. Isı çok yoğun olduğundan sıcaklık hızla yükselir. Eğer kontrol sisteminiz yavaşsa, hedef sıcaklığı aşarsınız ve substrat üzerinde termal şok riski oluşur. Isının hızına ayak uydurabilen bir sistem istersiniz.