Fabrika katında, termal sapma uyarı etiketiyle ortaya çıkmaz. Bunu hat veriminde düşüş, monitörde partikül artışı veya fotoresist profilinin vardiyadan vardiyaya kaymaya başlamasında görürsünüz. Wafer kurutma, fotoresist yumuşak pişirme ve sert pişirme ile paketleme kürleme süreçlerinde, sıcaklık sadece bir ayar düğmesi değil—sorumlu olduğunuz işlemdir.
Kaputun altında önemli olan
Kuruttu ve pişirme modüllerini sıkı termal kontrol etrafında tasarlıyoruz: sıcak bölge boyunca wafer düzleminde ölçülen ±0.1°C uniformite, ısıtıcı bloğunda değil. NIR ve orta dalga IR enerjiyi doğrudan film ve resist içine verir, böylece aşırı ısınma olmadan daha hızlı çevrim süreleri elde edilir. Karbon fiber ısıtıcılar temaslı pişirmeyi stabil ve tekrarlanabilir tutar. Tüm sistem Class 1’den Class 100’e kadar temiz oda uyumludur, işlem ara yüzünde partikül oluşumu sıfırdır ve egzoz yönlendirmesi kirleticileri dışarıda tutar. Tekrarlanabilirlik tasarımda yer alır—setpoint değerleri saatlerce, partiler boyunca tolerans içinde kalır.
Üretimde neden dayanıklı
Litografi hatlarında, aynı ünite hem yumuşak pişirme hem sert pişirmeyi tutarlı profillerle gerçekleştirir; böylece CD ve kalınlık varyasyonları peşinizi bırakmaz. Temizleme ve kurutma işlemlerinde, wafer’ları termal şoka maruz bırakmadan kuru ve leke bırakmayan bir hale getirir. Paketlemede, encapsulant ve underfill malzemelerini planlanan sürede kürler, soğuk eklem oluşmaz. Sonuç, öngörülebilir çevrim süreleri, daha az hurda parti ve stabil kalan termal bütçelerdir. Enerji tüketimi, ısıtıcıların setpoint değerine hızlı ulaşması ve sürekli açıp kapamadan tutması nedeniyle düşer.
Planlama için gerekenler
Platform mevcut hatlara ve fırınlara entegre olur, ancak yerleşim alanı ve egzoz yönlendirmesi fabrikanın kısıtlamalarına uygun olmalıdır. Uniformitenin korunması için ayrılmış voltaj ve topraklama bütçesi ayırın, ve film katmanınız için profilleri ayarlamak üzere kısa bir devreye alma süreci bekleyin. Kurulduktan sonra sistem 7/24 çalışır, sadece rutin bakım gerektirir.