Üretim katında, AFM ısıtıcısındaki 0.1°C’lik bir sapma sadece bir ölçüm rahatsızlığı değildir. Fotoresist ön pişirme ve sert pişirme süreçlerini etkileyebilir ve tüm termal bütçenizi dengesiz hale getirebilir. Termal homojenlik tepeden tırnağa bozulduğunda, çizgi genişliği kontrolü ve defekt yoğunluğu da olumsuz etkilenir. Bu AFM ısıtıcısını, fizik kurallarının gerektirdiği sıcaklığı koruyacak şekilde tasarladık—doğrudan numune üzerinde, tarama alanı boyunca ve Class 1–100 temiz oda koşullarında. Teknik açıdan önemli olanlar Isıtıcı, kısa dalga kızılötesi bir eleman ile kuvars stabilizasyonlu bir termal yol eşleştirir. Bu, yarı iletken yüzeyinde ±0.1°C homojenlikte stabil ve lokal ısıtma sağlar. Tasarım, ısı artışı sırasındaki parçacık salınımını önler; böylece litografi işlemlerine yakın çalışmalarda parçacık sayısı sabit kalır. AYak izi AFM entegrasyonuna uygun boyutlarda tasarlanır, 7/24 çalışma güvenilirliği hedeflenir ve binlerce termal döngüde sapma olmadan tekrar edilebilir set noktalar sağlanır. Güç dağıtımı cihazın konfigürasyonuna uygun olarak eşleştirilir ve arayüz, işlem kesintisi olmadan hızlı değişim için optimize edilmiştir. Neden litografi bağlantılı metrolojide işe yarar AFM ısıtıcısı, fotoresistin beklediği pişirme profilini doğru şekilde taklit etmezse, CD homojenliği olumsuz etkilenir. Burada, o profil tekrar edilebilir tutarlılıkla sağlanır; böylece ön pişirme ve sert pişirme sonucu öngörülebilir resist davranışına dönüşür. Daha az yeniden işleme. Daha az hurda. Sabit kalan çevrim süresi. Kısa dalga NIR verimliliği ve sıkı termal eşleşme enerji kullanımını kontrol altında tutar; böylece sıcaklık doğruluğundan ödün vermeden daha düşük sıcaklıkta çalışma sağlanır. Birkaç pratik not Isıtıcı temiz oda uyumludur ancak termal performans AFM aşaması ve numune yığınına bağlıdır. Set noktası stabilitesine ulaşmak için kısa bir ısınma süresi bekleyin ve aşama malzemesi ile montaj yönteminin termal arayüzle uyumlu olduğundan emin olun. Temiz oda uyumluluğunu korumak ve ilk günden itibaren homojenlik spesifikasyonlarını karşılamak için kalifiye bir kurulum planlayın.