ในขั้นตอนการอบที่ความยาวคลื่น 300 มิลลิเมตรนี้ คุณจะสามารถรู้สึกได้เมื่อโปรไฟล์การอบเริ่มเบี่ยงเบน ความหนาของชั้นฟิล์มก็จะเปลี่ยนแปลงไป และหลังจากการพัฒนาฟิล์ม ก็จะเกิดสิ่งสกปรกขึ้น ในกรณีที่โซนที่มีอุณหภูมิสูงไม่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ก็จะทำให้เกิดความเสียหายกับฟิล์มที่ใช้ในการผลิต และส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง เราจึงออกแบบระบบอินฟราเรดของเราขึ้นมาเพื่อหยุดการเกิดปัญหาเหล่านี้ก่อนที่มันจะเริ่มขึ้น
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค ชุดเครื่องกำเนิดอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นนี้ถูกออกแบบมาเพื่อให้อุณหภูมิบนพื้นผิวของ Wafer มีความสม่ำเสมอ โดยมีความแตกต่างไม่เกิน ±0.1°C ตลอดพื้นผิว 300 มิลลิเมตร ไม่ว่าจะเป็นขั้นตอนการอบแบบอ่อนหรือแบบแข็ง การตอบสนองของอุณหภูมิที่รวดเร็วช่วยลดความล่าช้าในการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ ทำให้อุณหภูมิสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำ โซนที่มีอุณหภูมิสูงนี้สามารถใช้งานได้ในห้องที่มีมาตรฐานตั้งแต่ Class 1 ไปจนถึง Class 100 และไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ในขณะที่ระบบทำงานอยู่ ดังนั้นจึงมีความน่าเชื่อถือตลอดเวลา 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด และยังมีความสามารถในการทำซ้ำได้อย่างแม่นยำ ทำให้ขนาดและความหนาของฟิล์มมีความสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิต
เหตุผลที่มีความสำคัญในกระบวนการลิโทกราฟี ในกระบวนการลิโทกราฟี การอบแบบอ่อนมีจุดประสงค์เพื่อกำจัดสารละลายและควบคุมแรงดึงของฟิล์ม ส่วนการอบแบบแข็งนั้นมีจุดประสงค์เพื่อให้ภาพที่เกิดขึ้นมีความชัดเจน และเตรียมฟิล์มให้พร้อมสำหรับการขัดถูหรือการฝังสารต่างๆ ด้วยความร้อนที่สม่ำเสมอจากอินฟราเรด ทำให้พฤติกรรมการเปลี่ยนแปลงของฟิล์มมีความสม่ำเสมอตลอดพื้นผิวของ Wafer ขอบของฟิล์มก็มีพฤติกรรมที่สามารถคาดเดาได้ และขนาดสำคัญต่างๆ ก็ยังคงมีความสม่ำเสมอ สิ่งนี้ช่วยลดการต้องทำซ้ำ ลดความแปรปรวนของคุณภาพฟิล์ม และลดของเสีย
นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะระบบนี้จะทำให้เกิดความร้อนเฉพาะบริเวณที่ต้องการเท่านั้น และสามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว ดังนั้นมวลความร้อนก็จะอยู่ในระดับที่ควบคุมได้ และการใช้พลังงานก็จะลดลงตามไปด้วย
ข้อดีในการใช้งานจริง โซนที่มีอุณหภูมิสูงนี้มีขนาดกะทัดรัด และสามารถนำมาใช้ร่วมกับโมดูลการเคลือบหรือการอบได้ ระยะห่างรอบๆ Wafer ก็มีขนาดจำกัด ดังนั้นการจัดการกระแสอากาศก็ต้องสอดคล้องกับระบบที่มีอยู่เดิม การตั้งค่าระบบก็ใช้เวลาไม่นาน คุณเพียงแค่ปรับกำลังไฟ ค่าการกำเนิดแสง และค่า PID ให้เหมาะสมกับฟิล์มที่ใช้ หลังจากนั้นโปรไฟล์การอบก็จะสามารถทำซ้ำได้ แต่ถ้าคุณเปลี่ยนชนิดของฟิล์มหรือใช้ฟิล์มที่มีความหนามากขึ้น ก็จำเป็นต้องปรับค่าต่างๆ อีกครั้งเพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอและประสิทธิภาพการอบเหมือนเดิม