ในกระบวนการผลิต OLED นั้น เทคโนโลยีการพิมพ์แบบ OLED lithography ไม่สามารถปล่อยให้เกิดความคลาดเคลื่อนทางอุณหภูมิได้เลย หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปแม้เพียง ±0.5°C ก็จะส่งผลให้ความสม่ำเสมอของ CD เปลี่ยนไป รวมถึงทำให้โครงสร้างของฟิล์มโฟโตเรซิสต์เปลี่ยนแปลงไปด้วย ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีหลอดไฟสำหรับการอบที่สามารถรักษาอุณหภูมิไว้ได้อย่างแม่นยำ ไม่ใช่หลอดไฟที่อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปตามสภาพแวดล้อม
สิ่งที่เราสร้างขึ้น และเหตุผล เรานำหลอดไฟสำหรับการอบแบบ OLED มาใช้ร่วมกับเครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น (SWIR) ซึ่งอยู่ภายในฝาครอบแบบควอตซ์ วิธีนี้ช่วยให้พลังงานถูกส่งไปยังฟิล์มโฟโตเรซิสต์ได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้พื้นผิววัสดุถูกทำให้ร้อนเกินไป นอกจากนี้ ระบบควบคุมอุณหภูมิยังช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในช่วง ±0.1°C สำหรับทั้งแผ่นวัสดุ และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็อยู่ที่ 0.05°C ต่อการอบหนึ่งครั้ง
ระบบนี้เหมาะสำหรับห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 และเราได้ตรวจสอบแล้วว่าไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลย ระบบควบคุมเป็นแบบวงจรปิด โดยใช้เครื่องวัดอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง เพื่อวัดอุณหภูมิที่พื้นผิวของฟิล์มโฟโตเรซิสต์ ไม่ใช่ที่ตัวหลอดไฟ
เหตุผลที่ระบบนี้เหมาะสำหรับโรงงานผลิต OLED ในขั้นตอนการอบฟิล์มโฟโตเรซิสต์สำหรับ OLED นั้น อุณหภูมิมีความสำคัญมาก หากอุณหภูมิต่ำเกินไป สารละลายก็จะไม่สามารถระเหยออกได้ และหากอุณหภูมิสูงเกินไป ก็จะเกิดข้อบกพร่องที่ส่งผลต่อการสร้างรูปทรงของวัสดุ หลอดไฟนี้ช่วยให้อุณหภูมิในการอบอยู่ในระดับที่แม่นยำในทุกๆ ครั้งที่มีการอบ ทำให้ความสม่ำเสมอของ CD และมุมของผนังวัสดุยังคงอยู่ในระดับที่สม่ำเสมอ
การเพิ่มอัตราการเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วช่วยให้เวลาในการอบสั้นลง ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต โดยไม่ต้องเพิ่มอุณหภูมิสูงเกินไป ระบบนี้มีประสิทธิภาพสูง เพราะมีอัตราการแปลงพลังงานไฟฟ้าเป็นรังสีที่สูง และมีมวลความร้อนต่ำ ดังนั้นจึงช่วยลดค่าใช้จ่ายในการใช้พลังงาน และลดการสูญเสียความร้อนในห้องปลอดภัย นอกจากนี้ ระบบนี้ยังมีความน่าเชื่อถือสูง โดยมีข้อมูลการใช้งานที่แสดงให้เห็นว่าสามารถทำงานได้หลายพันชั่วโมงโดยไม่มีปัญหา
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้ หลอดไฟนี้มีขนาดกะทัดรัด แต่จำเป็นต้องมีระบบระบายอากาศที่เหมาะสม และระบบจ่ายไฟที่มีคุณภาพ เพื่อให้ระบบทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ หากคุณต้องการนำระบบนี้มาใช้ร่วมกับระบบเดิม คุณจำเป็นต้องมีอุปกรณ์เชื่อมต่อที่เหมาะสม และต้องตรวจสอบตัวเชื่อมต่อ ฝาครอบ และระบบควบคุม PLC ก่อนที่จะเริ่มใช้งาน
ควรทำการทดสอบระบบสั้นๆ เพื่อตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในการอบ จากนั้นจึงค่อยนำระบบมาใช้งานจริง