ในโรงงานผลิตชิป ปัญหาเรื่องความแปรปรวนของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบแห้งวัสดุหรือการอบฟอโตรีซิสต์นั้น ไม่เพียงแต่ส่งผลต่ออัตราการผลิตเท่านั้น แต่ยังส่งผลต่อขนาดของชิปด้วย ซึ่งจะส่งผลให้อัตราการผลิตลดลง ภายในห้องควบคุมที่มีสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้อย่างเข้มงวดนั้น เครื่องทำความร้อนแบบดั้งเดิมมักมีปัญหาในการรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคขึ้นมา เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดขึ้นมาเพื่อรับมือกับสถานการณ์เหล่านี้โดยเฉพาะ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราใช้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นที่มีฉนวนหุ้มด้วยควอตซ์ ทำให้ความร้อนถูกส่งออกมาอย่างรวดเร็วและมีทิศทางที่แน่นอน นอกจากนี้ ค่าการปล่อยความร้อนยังคงสม่ำเสมออีกด้วย ทำให้อุณหภูมิของวัสดุมีความสม่ำเสมอในช่วง ±0.1°C ตลอดกระบวนการผลิต และตอบสนองได้อย่างรวดเร็วเพียงพอที่จะรองรับกระบวนการผลิตที่มีอัตราสูงได้ ผลลัพธ์ที่ได้มีความสม่ำเสมอ ทำให้กระบวนการอบสามารถดำเนินไปได้อย่างราบรื่นในแต่ละชุดวัสดุ อุปกรณ์เหล่านี้ถูกใช้งานในห้องควบคุมที่มีมาตรฐาน Class 1–100 ซึ่งมีการปล่อยก๊าซน้อยมาก และมีการออกแบบที่ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคในระหว่างการใช้งานปกติ
เหตุผลที่ใช้งานได้จริง
สำหรับการอบแห้งวัสดุ รังสีอินฟราเรดช่วยขจัดตัวทำละลายได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ซึ่งช่วยลดข้อบกพร่องบนพื้นผิวของวัสดุได้ ในกระบวนการลิโทกราฟี ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในการอบฟอโตรีซิสต์ช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของชิปได้อย่างแม่นยำ และลดการต้องทำวัสดุใหม่อีก สำหรับกระบวนการบรรจุภัณฑ์ การอบวัสดุให้แห้งสามารถทำได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้การยึดเกาะของวัสดุกับบรรจุภัณฑ์มีความมั่นคง นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องทำความร้อนจะส่งความร้อนตามความต้องการเท่านั้น ทำให้ไม่มีการสูญเสียพลังงานไปกับการทำความร้อนที่ไม่จำเป็น ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์นั้นสูงมาก เพราะสามารถใช้งานได้ตลอด 24/7 โดยมีผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอ และมีช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่แน่นอน
ข้อควรระวัง
การติดตั้งอุปกรณ์นั้นขึ้นอยู่กับการเชื่อมต่อกับห้องควบคุม ความหนาแน่นของพลังงาน และระยะห่างทางอุณหภูมิ ต้องปรับให้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดสอดคล้องกับรูปร่างของตัวสะท้อนความร้อน และต้องปรับค่าการควบคุมให้เหมาะสม มิฉะนั้นจะเกิดจุดร้อนขึ้น และอุณหภูมิอาจสูงเกินไป ต้องกำหนดแรงดันไฟฟ้า ขนาด และประเภทของตัวเชื่อมต่อให้เหมาะสมกับอุปกรณ์ของคุณ หากการปรับแต่งเหล่านี้ทำได้อย่างถูกต้อง ระบบก็จะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ แต่หากทำผิดพลาด ก็จะทำให้เกิดความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิและความสามารถในการทำซ้ำได้