Прекратите нагревать стены вашего оборудования
В чистых комнатах для производства полупроводников нагрев неправильных элементов представляет собой настоящую проблему. Если вы используете конвекционные или радиационные обогреватели, вы, вероятно, уже заметили проблему: тепло распространяется повсюду. Внутренние стены оборудования могут стать настолько горячими, что это может привести к опасности для оператора. К тому же чувствительные компоненты могут деформироваться из-за теплового расширения. Это создает много проблем и несет риски.
Мы решаем эту проблему с помощью направленных инфракрасных излучателей. Секрет заключается в способе передачи тепла. Представьте себе фонарик вместо обогревателя – инфракрасные лампы излучают тепло в одном направлении. Мы направляем эти лампы прямо на пластину или подложку. Материал поглощает энергию, а окружающий воздух остается прохладным. Металлический корпус также остается прохладным. Таким образом, внутри оборудования создается зона с высокой температурой, но при этом само оборудование остается безопасным для использования.
Чтобы уменьшить размеры оборудования, мы используем коротковолновые инфракрасные излучатели. Они способны выдавать большую мощность в небольшом объеме. Это очень быстро – достигается целевая температура за считанные секунды. Но есть один недостаток: при высокой мощности возникают проблемы. Если отражатели имеют повреждения или находятся не по центру, на стенах могут появиться «горячие точки». Поэтому мы очень тщательно следим за состоянием золотых и алюминиевых отражателей. Необходимо, чтобы луч был точным.
Это облегчает работу всем. Когда тепло не тратится впустую, система вентиляции и охлаждения в чистой комнате не должна работать так напряженно. Мы разработали эти системы так, чтобы они можно было легко заменить старыми, громоздкими обогревателями. Достаточно подключить их к контроллеру PID, чтобы контролировать температуру с точностью. Больше нет проблем с горячими стенами. Операторы могут подходить к оборудованию без опасений, а также можно избавиться от назойливых сигналов тревоги, вызванных внешними факторами. Все работает как нужно.